| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| ·研究意义 | 第11-12页 |
| ·Ti-Al-N 系硬质涂层的制备方法 | 第12-17页 |
| ·化学气相沉积法 | 第13页 |
| ·磁控溅射 | 第13-14页 |
| ·离子镀 | 第14-16页 |
| ·离子束辅助沉积 | 第16-17页 |
| ·Ti-Al-N 涂层及其合金化的研究现状和进展 | 第17-24页 |
| ·高 Al 含量 Ti-Al-N 涂层的结构与性能 | 第17-20页 |
| ·TiAlSiN 涂层的研究进展 | 第20-21页 |
| ·TiAlCrN 涂层的研究进展 | 第21-22页 |
| ·TiAlYN 涂层的研究进展 | 第22-24页 |
| ·Ti-Al-N 涂层合金化存在的问题 | 第24-25页 |
| 第二章 实验设备与方法 | 第25-31页 |
| ·实验材料 | 第25页 |
| ·基体材料 | 第25页 |
| ·靶材 | 第25页 |
| ·镀膜设备 | 第25-27页 |
| ·镀膜设备特点 | 第25-26页 |
| ·靶材布局 | 第26-27页 |
| ·涂层制备工艺 | 第27-28页 |
| ·涂层的测试与分析 | 第28-31页 |
| ·硬度的测试 | 第28-29页 |
| ·结合强度的测试 | 第29页 |
| ·涂层的形貌观察与成分分析 | 第29页 |
| ·涂层的厚度测量 | 第29-30页 |
| ·涂层的物相分析 | 第30页 |
| ·涂层高温氧化性能测试 | 第30-31页 |
| 第三章 前期清洗实验与靶材沉积速率的测定 | 第31-41页 |
| ·等离子体蚀刻 | 第31-32页 |
| ·弧光清洗工艺优化 | 第32-37页 |
| ·靶材沉积速率的测定 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 Y 含量对 Ti-Al-N 涂层结构转变的影响 | 第41-55页 |
| ·涂层的制备 | 第41-42页 |
| ·涂层的表面形貌和成分 | 第42-48页 |
| ·(Ti_(33)Al_(67))_(1-x)Y_xN 涂层的成分 | 第42-44页 |
| ·(Ti_(30)Al_(70))_(1-x)Y_xN 涂层的成分 | 第44-46页 |
| ·(Ti_(28)Al_(72))_(1-x)Y_xN 涂层的成分 | 第46-48页 |
| ·涂层的物相结构 | 第48-50页 |
| ·(Ti_(33)Al_(67))_(1-x)Y_xN 涂层的物相结构 | 第48-49页 |
| ·(Ti_(30)Al_(70))_(1-x)Y_xN 涂层的物相结构 | 第49-50页 |
| ·(Ti_(28)Al_(72))_(1-x)Y_xN 涂层的物相结构 | 第50页 |
| ·涂层的物相结构分析 | 第50-53页 |
| ·结果分析讨论 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 合金化元素对 Ti-Al-N 涂层力学性能的影响 | 第55-63页 |
| ·涂层的制备 | 第55页 |
| ·涂层的厚度 | 第55页 |
| ·合金化元素对涂层硬度的影响 | 第55-58页 |
| ·合金化元素对涂层结合力的影响 | 第58-60页 |
| ·涂层的表面形貌与断口形貌分析 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 合金化元素对 Ti-Al-N 涂层高温氧化行为的影响 | 第63-95页 |
| ·(Ti_(33)Al_(67))_(1-x-y)Si_xY_yN 涂层的制备 | 第63页 |
| ·涂层的厚度 | 第63-64页 |
| ·合金化元素对涂层短时氧化行为的影响 | 第64-79页 |
| ·涂层随着温度变化的氧化增重规律 | 第64-66页 |
| ·涂层短时氧化后的显微组织分析 | 第66-71页 |
| ·涂层短时氧化后的成分分析 | 第71-76页 |
| ·涂层短时氧化后的物相结构分析 | 第76-79页 |
| ·合金元素对涂层恒温氧化行为的影响 | 第79-90页 |
| ·涂层在 950℃下恒温氧化的增重规律 | 第79-81页 |
| ·涂层在 950℃下恒温氧化的物相结构分析 | 第81-85页 |
| ·涂层在 950℃下恒温氧化的表面形貌分析 | 第85-90页 |
| ·涂层恒温氧化的元素分布分析 | 第90-92页 |
| ·涂层恒温氧化机理分析 | 第92-93页 |
| ·本章小结 | 第93-95页 |
| 全文结论与展望 | 第95-97页 |
| 全文结论 | 第95页 |
| 展望 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-105页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107-108页 |
| 附件 | 第108页 |
