| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 目录 | 第11-14页 |
| 图目录 | 第14-18页 |
| 表目录 | 第18-19页 |
| 第1章 绪论 | 第19-33页 |
| ·球面检测技术的研究意义 | 第19-21页 |
| ·国内外球面检测技术研究进展 | 第21-30页 |
| ·传统球面干涉检测法 | 第22-26页 |
| ·点衍射球面干涉检测法 | 第26-30页 |
| ·本论文的主要研究内容和完成的工作 | 第30-31页 |
| ·本论文的主要创新点 | 第31-33页 |
| 第2章 基于有限时域差分算法的点衍射波前质量分析 | 第33-45页 |
| ·基于FDTD算法的针孔衍射波前质量分析仿真原理 | 第34-40页 |
| ·基于FDTD算法的针孔点衍射近场仿真原理 | 第34-38页 |
| ·衍射近远场分布变换 | 第38-39页 |
| ·远场波前的处理评价 | 第39-40页 |
| ·基于FDTD算法的针孔衍射波前质量仿真结果 | 第40-44页 |
| ·针孔点衍射波前仿真模型参数 | 第40-41页 |
| ·针孔点衍射波前仿真分析 | 第41-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第3章 高精度点衍射球面干涉检测原理与方案 | 第45-60页 |
| ·高精度点衍射球面检测系统布局及原理 | 第45-46页 |
| ·激光器光源要求 | 第46-47页 |
| ·输出功率选择 | 第46-47页 |
| ·相干长度要求 | 第47页 |
| ·衍射掩模板设计及分析 | 第47-54页 |
| ·玻璃基底设计 | 第48页 |
| ·针孔反射镜设计 | 第48-51页 |
| ·衍射针孔加工和评价 | 第51-54页 |
| ·检测系统光束偏振态选择 | 第54-58页 |
| ·针孔反射镜金属介质的偏振效应 | 第55-56页 |
| ·金属反射介质偏振效应影响的仿真分析 | 第56-58页 |
| ·小结 | 第58-60页 |
| 第4章 高精度面形干涉检测系统中的PZT移相器在线检测技术 | 第60-77页 |
| ·基于干涉条纹分析技术的PZT移相器在线检测原理 | 第60-68页 |
| ·端面转角测量原理 | 第61-66页 |
| ·基于模板匹配算法的微位移测量原理 | 第66-68页 |
| ·基于干涉条纹分析技术的PZT移相器检测方法论证 | 第68-74页 |
| ·端面转角测量方法的计算机仿真 | 第69-72页 |
| ·基于模板匹配算法的微位移测量实验验证 | 第72-74页 |
| ·PZT移相器在线检测实验及分析 | 第74-75页 |
| ·小结 | 第75-77页 |
| 第5章 球面干涉检测中的高精度调整误差校正方法 | 第77-97页 |
| ·球面调整误差引入波像差分析 | 第77-83页 |
| ·波前倾斜引入调整误差分析 | 第78-80页 |
| ·波前离焦引入调整误差分析 | 第80-83页 |
| ·传统调整误差校正方法 | 第83-84页 |
| ·基于波前差分的高精度球面调整误差校正方法 | 第84-88页 |
| ·调整误差校正原理 | 第84-87页 |
| ·调整误差校正处理过程 | 第87-88页 |
| ·基于波前差分的高精度球面调整误差校正方法计算机仿真 | 第88-91页 |
| ·基于波前差分的高精度球面调整误差校正方法的实验论证 | 第91-95页 |
| ·调整误差校正实验 | 第92-94页 |
| ·实验误差因素分析 | 第94-95页 |
| ·小结 | 第95-97页 |
| 第6章 高精度点衍射球面干涉检测系统误差分析 | 第97-119页 |
| ·系统误差 | 第98-108页 |
| ·参考球面波前误差 | 第98-99页 |
| ·斜反射波前像差及波片旋转补偿校正法 | 第99-102页 |
| ·其他系统误差 | 第102-108页 |
| ·随机误差 | 第108-114页 |
| ·激光器稳定性 | 第108-111页 |
| ·针孔反射镜表面粗糙度 | 第111-114页 |
| ·球面调整误差 | 第114页 |
| ·环境误差 | 第114-117页 |
| ·温度和压强影响 | 第114-116页 |
| ·振动影响 | 第116-117页 |
| ·系统理论检测精度分析 | 第117-118页 |
| ·小结 | 第118-119页 |
| 第7章 高精度点衍射球面干涉检测实验及数据分析 | 第119-133页 |
| ·高精度点衍射球面干涉检测系统实验布局 | 第119-124页 |
| ·点衍射光斑参数测量分析 | 第124-126页 |
| ·点衍射光斑孔径角 | 第124-125页 |
| ·点衍射光能量效率 | 第125-126页 |
| ·高精度点衍射球面干涉检测实验结果和分析 | 第126-132页 |
| ·点衍射球面干涉检测实验结果 | 第126-129页 |
| ·球面检测实验结果分析和系统重复性精度测量 | 第129-132页 |
| ·小结 | 第132-133页 |
| 第8章 总结与展望 | 第133-138页 |
| ·本论文完成工作总结 | 第133-135页 |
| ·本论文主要创新点 | 第135-136页 |
| ·下一步工作展望 | 第136-138页 |
| 参考文献 | 第138-148页 |
| 作者简历及攻读博士学位期间所取得的科研成果 | 第148-150页 |
| 一、作者简历 | 第148页 |
| 二、发表及录用的论文 | 第148-150页 |
| 三、申请及授权的国家发明专利 | 第150页 |
