SPM定位控制方法研究及在纳米粘弹性测量中的应用
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-16页 |
| ·SPM 控制精度影响因素 | 第12-15页 |
| ·SPM 控制补偿方法 | 第15-16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 SPM 定位系统的迭代学习控制方法 | 第18-31页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·迭代学习算法 | 第18-21页 |
| ·迭代学习控制概述 | 第18-19页 |
| ·迭代学习算法的结构 | 第19-21页 |
| ·SPM 系统的 X 轴控制方法 | 第21-26页 |
| ·x 轴开闭环 PD 型迭代控制 | 第21-25页 |
| ·x 轴控制仿真 | 第25-26页 |
| ·SPM 系统的 Z 轴控制方法 | 第26-30页 |
| ·z 轴滤波器型迭代控制 | 第27-29页 |
| ·z 轴控制仿真 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 SPM 动态耦合误差的补偿控制方法 | 第31-44页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·动态耦合误差补偿 | 第31-37页 |
| ·动态耦合误差分析 | 第31-32页 |
| ·基于逆的前馈补偿方法 | 第32-34页 |
| ·算法收敛性和鲁棒性分析 | 第34-37页 |
| ·动态耦合误差补偿方法的实现 | 第37-43页 |
| ·动态耦合误差补偿模型 | 第37-40页 |
| ·动态耦合误差补偿结果与分析 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 基于 SPM 的宽带纳米粘弹性测量 | 第44-55页 |
| ·引言 | 第44-45页 |
| ·材料粘弹性纳米测量 | 第45-47页 |
| ·基于 SPM 的材料特性纳米测量 | 第45页 |
| ·材料粘弹性纳米测量方法 | 第45-47页 |
| ·迭代学习控制在材料粘弹性测量中的应用 | 第47-50页 |
| ·SPM 系统的滤波器型迭代学习算法 | 第47-48页 |
| ·迭代学习控制算法的实现 | 第48-50页 |
| ·软材料 PDMS 纳米粘弹性测量实验 | 第50-54页 |
| ·粘弹性测量实验介绍 | 第50页 |
| ·粘弹性测量实验结果与分析 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 材料粘弹性测量中的动态卷积误差补偿 | 第55-66页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·纳米粘弹性测量中动态卷积误差分析与补偿 | 第55-60页 |
| ·动态卷积误差分析 | 第55-58页 |
| ·基于线性复柔量模型的动态卷积误差补偿 | 第58-60页 |
| ·纳米粘弹性测量中动态卷积误差补偿实验 | 第60-65页 |
| ·纳米粘弹性测量结果分析 | 第60-61页 |
| ·动态卷积误差补偿结果与分析 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 作者简介 | 第74页 |
