| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 文献综述 | 第7-19页 |
| ·研究薄膜光波导器件的意义 | 第7-8页 |
| ·光波导薄膜的研究现状 | 第8-13页 |
| ·光波导材料概述 | 第8-9页 |
| ·硅基光导膜制备技术 | 第9-13页 |
| ·热氧化法 | 第9-10页 |
| ·阳极氧化法 | 第10页 |
| ·火焰水解法 | 第10-11页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积法 | 第11页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第11-13页 |
| ·光波导微细图形制备技术 | 第13页 |
| ·光分束器的种类与研究进展 | 第13-16页 |
| ·薄膜光波导理论 | 第16-18页 |
| ·小结 | 第18-19页 |
| 2 实验方法 | 第19-25页 |
| ·绪言 | 第19页 |
| ·实验方案 | 第19-20页 |
| ·实验设备 | 第20-22页 |
| ·实验试剂及SiO_2/Al_2O_3系凝胶膜的制备 | 第22-24页 |
| ·实验试剂 | 第22-23页 |
| ·SiO_2/Al_2O_3凝胶膜的制备 | 第23页 |
| ·SiO_2/Al_2O_3/PEG凝胶膜的配制 | 第23-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 3 光分束器的制备 | 第25-37页 |
| ·绪言 | 第25页 |
| ·器件结构 | 第25-26页 |
| ·器件制作工艺 | 第26-32页 |
| ·基片和掩模版清洗 | 第27-28页 |
| ·光导膜的制备 | 第28-29页 |
| ·微细加工 | 第29-32页 |
| ·器件测试 | 第32-35页 |
| ·测试系统 | 第32-34页 |
| ·测试结果 | 第34-35页 |
| ·小结 | 第35-37页 |
| 4 PEG改性的SiO_2/Al_2O_3光导膜制备 | 第37-49页 |
| ·绪言 | 第37页 |
| ·凝胶膜的感光性分析 | 第37-39页 |
| ·紫外光谱分析 | 第37-38页 |
| ·红外光谱分析 | 第38-39页 |
| ·薄膜的光学性质分析 | 第39-44页 |
| ·光度法计算薄膜折射率的原理 | 第39-40页 |
| ·光照对SiO_2/Al_2O_3/PEG膜透射率和折射率的影响 | 第40-41页 |
| ·热处理对SiO_2/Al_2O_3/PEG膜透射率和折射率的影响 | 第41-42页 |
| ·SiO_2/Al_2O_3系薄膜经光照和热处理的折射率和透射率 | 第42-44页 |
| ·PEG作用及机理 | 第44-45页 |
| ·SiO_2/Al_2O_3/PEG波导阵列制备 | 第45-46页 |
| ·小结 | 第46-49页 |
| 5 结论 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 附录 攻读硕士期间发表的论文 | 第56页 |
