基于工件低频振动的微细电解加工试验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-26页 |
| ·电解加工技术的原理与特点 | 第15-16页 |
| ·电解加工技术概况 | 第16-20页 |
| ·数控电解加工技术 | 第16-17页 |
| ·脉冲电流电解加工技术 | 第17-18页 |
| ·电解复合加工技术 | 第18-20页 |
| ·微细电解加工技术 | 第20页 |
| ·微细电解加工技术 | 第20-25页 |
| ·掩膜微细电解加工 | 第21-22页 |
| ·脉冲电流微细电解加工 | 第22-23页 |
| ·电液束微细电解加工 | 第23页 |
| ·扫描探针微细电解加工 | 第23-24页 |
| ·约束刻蚀剂层技术 | 第24-25页 |
| ·课题来源、研究意义及主要研究内容 | 第25-26页 |
| ·课题来源及研究意义 | 第25页 |
| ·本文主要研究内容 | 第25-26页 |
| 第二章 工件低频振动的微细电解加工 | 第26-36页 |
| ·电解加工基本原理 | 第26页 |
| ·法拉第定律 | 第26-27页 |
| ·阳极极化 | 第27-29页 |
| ·微细电解加工 | 第29-31页 |
| ·微细电解加工的特点 | 第29页 |
| ·影响加工定域性的因素 | 第29-30页 |
| ·影响加工稳定性的因素 | 第30-31页 |
| ·工件低频振动的微细电解加工 | 第31-35页 |
| ·加工原理 | 第31-32页 |
| ·加工速度 | 第32-33页 |
| ·加工间隙 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 工件低频振动的微细电解加工装置 | 第36-48页 |
| ·加工试验系统装置 | 第36-38页 |
| ·加工控制方案 | 第38-39页 |
| ·加工电源系统 | 第39-40页 |
| ·电解液 | 第40-41页 |
| ·低频振动装置 | 第41-47页 |
| ·低频振动装置原理分析 | 第41-43页 |
| ·低频振动装置设计制作 | 第43-46页 |
| ·设计要求 | 第43页 |
| ·具体部件设计 | 第43-46页 |
| ·低频振动装置振幅测量 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 微细电解加工试验 | 第48-72页 |
| ·微细工具电极的制备 | 第48-53页 |
| ·圆柱状微细电极制备原理 | 第48-49页 |
| ·圆柱状微细电极制备实验 | 第49-50页 |
| ·工具电极侧壁绝缘 | 第50-53页 |
| ·绝缘前的基体处理 | 第51页 |
| ·真空气相沉积法绝缘 | 第51-53页 |
| ·绝缘电极电解加工试验与分析 | 第53-62页 |
| ·加工试验 | 第54-59页 |
| ·低频振动对材料蚀除速度的影响 | 第59-61页 |
| ·振幅对材料蚀除速度的影响 | 第59-60页 |
| ·振动频率对材料蚀除速度的影响 | 第60-61页 |
| ·低频振动对侧面加工间隙的影响 | 第61-62页 |
| ·振幅对侧面加工间隙的影响 | 第61页 |
| ·振动频率对侧面加工间隙的影响 | 第61-62页 |
| ·未绝缘电极电解加工试验与分析 | 第62-70页 |
| ·加工试验 | 第62-67页 |
| ·低频振动对材料蚀除速度的影响 | 第67-68页 |
| ·振幅对材料蚀除速度的影响 | 第67页 |
| ·振动频率对材料蚀除速度的影响 | 第67-68页 |
| ·低频振动对侧面加工间隙的影响 | 第68-70页 |
| ·低频振动对加工深度的影响 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 总结与展望 | 第72-74页 |
| ·本文研究工作总结 | 第72页 |
| ·对本课题研究的展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第79页 |
