基于TiO2纳米材料浸润性的微流体驱动方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·微流体驱动技术 | 第8-12页 |
| ·目前采用的各种微流体驱动方法 | 第8-9页 |
| ·毛细力驱动方法的研究 | 第9-12页 |
| ·微流控芯片的加工方法 | 第12-13页 |
| ·课题来源和主要工作内容 | 第13-16页 |
| ·课题来源 | 第13页 |
| ·本文研究思路和主要研究内容 | 第13-16页 |
| 第2章 表面润湿性与 TiO_2 纳米材料 | 第16-24页 |
| ·表面润湿性 | 第16-20页 |
| ·材料表面的浸润性 | 第16页 |
| ·接触角理论模型 | 第16-19页 |
| ·毛细压力 | 第19-20页 |
| ·TiO_2纳米材料 | 第20-24页 |
| ·TiO_2性质及应用 | 第20-21页 |
| ·TiO_2的光致亲水性 | 第21-22页 |
| ·TiO_2纳米管的亲水性 | 第22-24页 |
| 第3章 玻璃芯片上的微流体驱动 | 第24-40页 |
| ·芯片的制作 | 第24-26页 |
| ·芯片设计和掩膜版制作 | 第24页 |
| ·玻璃湿法腐蚀工艺 | 第24-26页 |
| ·微通道中制备 TiO_2纳米颗粒薄膜 | 第26-29页 |
| ·PLD 技术简介 | 第26-27页 |
| ·TiO_2纳米颗粒薄膜制备工艺过程 | 第27-29页 |
| ·微泵性能测试 | 第29-31页 |
| ·表征方法 | 第29页 |
| ·透光性测试 | 第29页 |
| ·接触角测量 | 第29页 |
| ·流速测量 | 第29-31页 |
| ·结果与讨论 | 第31-38页 |
| ·SEM 照片和 XRD 谱图 | 第31-33页 |
| ·透光性 | 第33页 |
| ·亲水性 | 第33-35页 |
| ·流速 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 金属芯片上的微流体驱动 | 第40-56页 |
| ·光刻法制作芯片 | 第40-43页 |
| ·制作掩膜版 | 第40-41页 |
| ·光刻工艺过程 | 第41-43页 |
| ·激光刻蚀法制作芯片 | 第43-45页 |
| ·皮秒激光直写刻蚀 | 第44页 |
| ·CO2激光微加工 | 第44-45页 |
| ·湿法腐蚀 | 第45-46页 |
| ·阳极氧化法制备 TiO_2纳米管薄膜 | 第46-48页 |
| ·TiO_2纳米管制备原理 | 第46-48页 |
| ·阳极氧化制备 TiO_2纳米管过程 | 第48页 |
| ·实验结果及分析 | 第48-54页 |
| ·不同加工方法的效果比较 | 第48-51页 |
| ·不同管径对纳米管亲水性的影响 | 第51-52页 |
| ·时间和光照对纳米管亲水性的影响 | 第52-54页 |
| ·流速测量 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文及申请专利 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
