一种三维硅霍尔传感器的研制

中文摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第一章 绪论	第8-14页
·霍尔传感器	第8-9页
·磁阻传感器	第9-10页
·磁通门传感器	第10-11页
·几种传感器的应用	第11-12页
·本论文的主要工作	第12-13页
参考文献	第13-14页
第二章 器件的理论模型	第14-26页
·霍尔传感器	第14-18页
·霍尔效应	第14-16页
·几何效应	第16-17页
·霍尔传感器的性能	第17-18页
·磁场集中效应	第18-25页
·磁性材料	第18-21页
·磁场集中器	第21-23页
·实现三维测量	第23-25页
参考文献	第25-26页
第三章 器件的设计与制造	第26-39页
·工作区的掺杂	第26-28页
·掺杂浓度的计算	第26-27页
·迁移率的提取	第27-28页
·磁集中器的设计	第28-32页
·磁性材料的选择	第28-30页
·磁集中器放大倍数的模拟与优化	第30-32页
·单霍尔器件的工艺流程及版图	第32-33页
·集成磁集中器的工艺研究	第33-38页
·磁性材料的粘接	第34-36页
·磁性材料的腐蚀	第36-38页
参考文献	第38-39页
第四章 霍尔传感器性能的测试	第39-54页
·灵敏度测试	第39-42页
·灵敏度测试系统	第39-40页
·Z轴灵敏度测试结果及讨论	第40-42页
·平面灵敏度的测试及讨论	第42-44页
·噪声测试	第44-52页
·噪声测试系统	第45-46页
·噪声测试结果及讨论	第46-52页
·功耗测试	第52页
·优化方向的讨论	第52-53页
参考文献	第53-54页
第五章 结论及未来工作	第54-56页
攻读硕士学位期间发表的论文	第56-57页
致谢	第57页