| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·二氧化碳气体的介绍 | 第10-11页 |
| ·气体传感器研究简介 | 第11-16页 |
| ·气体传感器的分类与原理 | 第11-14页 |
| ·气体传感器主要特性参数 | 第14-15页 |
| ·气体传感器的发展趋势 | 第15-16页 |
| ·二氧化碳传感器研究简介 | 第16-20页 |
| ·红外光谱法二氧化碳传感器 | 第16-17页 |
| ·电化学式二氧化碳传感器 | 第17-18页 |
| ·电气法式二氧化碳传感器 | 第18-19页 |
| ·敏感薄膜型二氧化碳传感器 | 第19-20页 |
| ·本论文研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 SAW 和 QCM 传感器工作原理及二氧化碳测试系统的搭建 | 第21-26页 |
| ·SAW 传感器的工作原理 | 第21-23页 |
| ·SAW 的基本结构 | 第21-22页 |
| ·SAW 的基本原理 | 第22页 |
| ·SAW 气体传感器的测试系统 | 第22-23页 |
| ·QCM 传感器的工作原理 | 第23-25页 |
| ·QCM 传感器的结构 | 第23页 |
| ·QCM 传感器的工作原理 | 第23-24页 |
| ·QCM 气体传感器的测试系统 | 第24-25页 |
| ·相关参数 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 二氧化碳气体薄膜 SAW 传感器的制备及研究 | 第26-41页 |
| ·实验所用材料及仪器 | 第26-27页 |
| ·SAW 的预处理 | 第27-28页 |
| ·SAW 器件测试电路 | 第28-29页 |
| ·三种敏感薄膜的制备 | 第29页 |
| ·三种敏感薄膜 SAW 传感器的制备 | 第29-30页 |
| ·三种 SAW 传感器的气敏特性研究 | 第30-39页 |
| ·PEI 薄膜 SAW 传感器对于气体的气敏试验 | 第30-32页 |
| ·PEI/Starch 薄膜传感器对于气体的气敏试验 | 第32-34页 |
| ·THEED 薄膜传感器对于气体的气敏试验 | 第34-36页 |
| ·三种敏感薄膜气敏特性对比分析 | 第36-39页 |
| ·三种敏感薄膜 SAW 传感器特性研究与结果讨论 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 二氧化碳气体薄膜 QCM 传感器的制备及研究 | 第41-59页 |
| ·实验所用材料及仪器 | 第41页 |
| ·QCM 的预处理 | 第41页 |
| ·QCM 传感器的测试系统 | 第41-42页 |
| ·三种 QCM 传感器的制备 | 第42页 |
| ·三种 QCM 传感器的气敏特性研究 | 第42-57页 |
| ·PEI 薄膜 QCM 传感器特性研究 | 第42-46页 |
| ·PEI/Starch 薄膜 QCM 传感器特性研究 | 第46-50页 |
| ·THEED 薄膜 QCM 传感器特性研究 | 第50-54页 |
| ·三种敏感薄膜的对比与分析 | 第54-57页 |
| ·三种敏感薄膜 QCM 传感器特性研究与结果讨论 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 结论与展望 | 第59-61页 |
| ·主要工作总结 | 第59页 |
| ·前景展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第66-67页 |
