| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·硬质薄膜 | 第13-19页 |
| ·硬质薄膜的性能与应用 | 第13-16页 |
| ·硬质薄膜的制备方法与工艺 | 第16-17页 |
| ·硬质薄膜的发展与研究方向 | 第17-19页 |
| ·涂层刀具 | 第19-23页 |
| ·涂层刀具的种类与性能 | 第19-20页 |
| ·涂层刀具的制备与应用 | 第20-22页 |
| ·涂层刀具的发展 | 第22-23页 |
| ·涂层的沉积及生长过程 | 第23-27页 |
| ·本课题的研究目的和内容 | 第27-28页 |
| ·本课题的研究目的 | 第27页 |
| ·本课题的研究内容 | 第27-28页 |
| 第2章 镀膜设备与检测方法 | 第28-40页 |
| ·多弧离子镀技术 | 第28-33页 |
| ·多弧离子镀技术的原理 | 第28-31页 |
| ·多弧离子镀技术的发展及应用 | 第31-32页 |
| ·多弧离子镀技术的优势及其存在的问题 | 第32-33页 |
| ·试验设备及材料 | 第33-34页 |
| ·试验设备 | 第33-34页 |
| ·试验材料的选定 | 第34页 |
| ·试验设计及流程 | 第34-36页 |
| ·试验过程的设计 | 第34-36页 |
| ·试验的工艺流程 | 第36页 |
| ·涂层的测试方法 | 第36-40页 |
| ·物相分析 | 第36-37页 |
| ·表面形貌分析 | 第37-38页 |
| ·化学成分分析 | 第38页 |
| ·显微硬度的测量 | 第38-39页 |
| ·涂层厚度的测量 | 第39-40页 |
| 第3章 TiN涂层的制备、测试、分析及讨论 | 第40-58页 |
| ·基准工艺参数的选定 | 第40-41页 |
| ·基体负偏压幅值对TiN涂层表征、性能的影响 | 第41-47页 |
| ·TiN涂层的物相分析 | 第41-42页 |
| ·TiN涂层的表面形貌分析 | 第42-43页 |
| ·TiN涂层的化学成分分析 | 第43-45页 |
| ·TiN涂层的厚度分析 | 第45-46页 |
| ·TiN涂层的硬度分析 | 第46-47页 |
| ·氩氮流量比对TiN涂层表征、性能的影响 | 第47-51页 |
| ·TiN涂层的物相分析 | 第47-48页 |
| ·TiN涂层的表面形貌分析 | 第48-49页 |
| ·TiN涂层的化学成分分析 | 第49-50页 |
| ·TiN涂层的硬度分析 | 第50-51页 |
| ·弧电流对TiN涂层表征、性能的影响 | 第51-57页 |
| ·TiN涂层的物相分析 | 第52-53页 |
| ·TiN涂层的表面形貌分析 | 第53-54页 |
| ·TiN涂层的化学成分分析 | 第54-55页 |
| ·TiN涂层的厚度分析 | 第55-56页 |
| ·TiN涂层的硬度分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 ZrN涂层的制备、测试、分析及讨论 | 第58-76页 |
| ·基准工艺参数的选定 | 第58-59页 |
| ·氩氮流量比对ZrN涂层表征、性能的影响 | 第59-63页 |
| ·ZrN涂层的物相分析 | 第59-60页 |
| ·ZrN涂层的表面形貌分析 | 第60-61页 |
| ·ZrN涂层的化学成分分析 | 第61-62页 |
| ·ZrN涂层的硬度分析 | 第62-63页 |
| ·沉积时间对ZrN涂层表征、性能的影响 | 第63-69页 |
| ·ZrN涂层的物相分析 | 第64-65页 |
| ·ZrN涂层的表面形貌分析 | 第65-66页 |
| ·ZrN涂层的化学成分分析 | 第66-67页 |
| ·ZrN涂层的厚度分析 | 第67-68页 |
| ·ZrN涂层的硬度分析 | 第68-69页 |
| ·基体负偏压占空比对ZrN涂层表征、性能的影响 | 第69-74页 |
| ·ZrN涂层的物相分析 | 第69-71页 |
| ·ZrN涂层的表面形貌分析 | 第71页 |
| ·ZrN涂层的化学成分分析 | 第71-73页 |
| ·ZrN涂层的硬度分析 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 TiZrN复合涂层的制备、测试、分析及讨论 | 第76-84页 |
| ·制备TiZrN复合涂层的工艺参数及方法 | 第76-77页 |
| ·物相比较分析 | 第77-78页 |
| ·表面形貌比较分析分析 | 第78-79页 |
| ·化学成分比较分析 | 第79-81页 |
| ·区域及点分析 | 第79页 |
| ·逐层定性定量分析 | 第79-81页 |
| ·硬度测量及比较分析 | 第81页 |
| ·摩擦磨损性能比较分析 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 第6章 涂层刀具的切削性能比较研究 | 第84-88页 |
| ·试验条件 | 第84-85页 |
| ·试验结果及分析 | 第85-87页 |
| ·磨损质量 | 第85页 |
| ·后刀面磨损量 | 第85-86页 |
| ·切屑对比 | 第86-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 第7章 结论与展望 | 第88-90页 |
| ·结论 | 第88-89页 |
| ·下一步可展开的工作 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-96页 |
| 致谢 | 第96页 |