| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 插图索引 | 第10-12页 |
| 附表索引 | 第12-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-19页 |
| ·生物芯片扫描仪介绍 | 第13页 |
| ·生物芯片扫描仪的国内外研究现状 | 第13-14页 |
| ·运动控制系统介绍 | 第14-16页 |
| ·本文的研究目标、研究内容和拟解决的关键性问题 | 第16-18页 |
| ·研究目标 | 第16-17页 |
| ·研究内容 | 第17-18页 |
| ·主要解决的关键性问题 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第2章 扫描工作台的总体设计 | 第19-34页 |
| ·激光共聚焦生物芯片扫描仪的工作原理 | 第19页 |
| ·扫描工作台的总体设计方案 | 第19-21页 |
| ·参数指标 | 第20页 |
| ·工作台扫描轨迹的确定 | 第20-21页 |
| ·扫描工作台的结构设计 | 第21-23页 |
| ·工作台的机械结构 | 第21-22页 |
| ·滚珠丝杠螺母副的选择 | 第22页 |
| ·直线滚动导轨副的选择 | 第22-23页 |
| ·联轴器型号的选择 | 第23页 |
| ·交流伺服电机的选择 | 第23-29页 |
| ·交流伺服电机的特点 | 第23-24页 |
| ·传动机构的转动惯量、功率计算与交流伺服电机的选型 | 第24-27页 |
| ·交流伺服电机速度曲线的选择 | 第27-29页 |
| ·检测装置 | 第29-31页 |
| ·编码器 | 第29-30页 |
| ·光栅 | 第30-31页 |
| ·功率驱动器 | 第31-32页 |
| ·运动控制器 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 控制策略的选择与模型建立 | 第34-54页 |
| ·PID控制系统 | 第34-36页 |
| ·一般PID控制 | 第34页 |
| ·积分分离型控制(I-PD) | 第34-35页 |
| ·二自由度PID控制 | 第35-36页 |
| ·Smith预估控制 | 第36-38页 |
| ·内模控制 | 第38-44页 |
| ·内模控制原理 | 第38页 |
| ·内模控制特性 | 第38-39页 |
| ·内模控制的实现问题 | 第39-40页 |
| ·稳定内模控制器的设计 | 第40页 |
| ·滤波器的设计 | 第40-44页 |
| ·电流环控制模型的建立 | 第44-46页 |
| ·电流环的组成 | 第44页 |
| ·电流环的数学模型 | 第44-45页 |
| ·电流环的仿真 | 第45-46页 |
| ·速度环控制模型的建立 | 第46-50页 |
| ·速度环的组成 | 第46-47页 |
| ·速度环数学模型的建立 | 第47-48页 |
| ·仿真与比较 | 第48-50页 |
| ·位置环控制模型的建立 | 第50-53页 |
| ·位置环的组成 | 第50-51页 |
| ·位置环数学模型的建立 | 第51-52页 |
| ·仿真与比较 | 第52-53页 |
| ·位置环控制的特性 | 第53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 控制系统的稳定性分析 | 第54-59页 |
| ·系统稳定性判据 | 第54-56页 |
| ·由Bode图判定系统稳定性 | 第54页 |
| ·由Nyquist图判定系统稳定性 | 第54页 |
| ·相位裕量和幅值裕量 | 第54-56页 |
| ·电流环稳定性 | 第56页 |
| ·速度环稳定性 | 第56-57页 |
| ·位置环稳定性 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 扫描工作台的误差分析 | 第59-64页 |
| ·定位精度的评定指标 | 第59页 |
| ·机械结构的误差分析 | 第59-61页 |
| ·丝杠导程的定位误差 | 第59-60页 |
| ·丝杠轴向间隙误差 | 第60页 |
| ·丝杠轴向刚度引起的定位误差 | 第60-61页 |
| ·检测装置的误差分析 | 第61-62页 |
| ·光栅尺的刻线误差 | 第61-62页 |
| ·光栅尺的安装误差 | 第62页 |
| ·控制系统的误差分析 | 第62-63页 |
| ·温度变化造成的误差 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 总结与展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 附录 A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第70页 |