摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-7页 |
目录 | 第7-10页 |
第一章 绪论 | 第10-19页 |
·C/C复合材料的应用背景 | 第10-12页 |
·C/C复合材料的特点 | 第10-11页 |
·C/C复合材料作为高温结构材料的应用 | 第11页 |
·C/C复合材料作为高温抗烧蚀材料的应用 | 第11-12页 |
·提高C/C复合材料抗烧蚀性能的途径 | 第12-16页 |
·C/C复合材料的烧蚀机理 | 第12-13页 |
·基体改性法 | 第13页 |
·涂层技术 | 第13-16页 |
·HfC的物理化学性质 | 第16页 |
·HfC涂层的制备方法 | 第16-17页 |
·液相先驱体转化法 | 第16-17页 |
·等离子喷涂法 | 第17页 |
·磁控溅射法 | 第17页 |
·化学气相沉积法 | 第17页 |
·本课题主要研究方向和研究内容 | 第17-19页 |
第二章 CVD-HfC涂层的制备及性能测试 | 第19-29页 |
·反应体系的选择 | 第19-23页 |
·反应体系选择 | 第19-20页 |
·热力学分析 | 第20-22页 |
·动力学分析 | 第22-23页 |
·CVD设备系统 | 第23-25页 |
·CVD设备 | 第23-24页 |
·粉体输送装置 | 第24-25页 |
·HfC涂层的制备 | 第25-27页 |
·沉积基体的选择 | 第25-26页 |
·铪源前驱体的选择 | 第26-27页 |
·碳源前驱体及其他原料的选择 | 第27页 |
·HfC涂层的表征与性能检测 | 第27-29页 |
·涂层沉积速率测试 | 第27页 |
·X射线衍射分析 | 第27-28页 |
·SEM表面形貌及组织结构分析 | 第28页 |
·显微硬度测试 | 第28-29页 |
第三章 沉积温度对HfC涂层组织结构的影响 | 第29-46页 |
·沉积温度对涂层沉积速率的影响 | 第29-32页 |
·工艺参数设计 | 第29页 |
·沉积温度对HfC涂层沉积速率的影响 | 第29-30页 |
·沉积温度对沉积速率均匀性的影响 | 第30-32页 |
·沉积温度对HfC涂层相组成和晶体结构的影响 | 第32-34页 |
·沉积温度对HfC涂层相组成的影响 | 第32-33页 |
·沉积温度对HfC涂层晶体结构的影响 | 第33-34页 |
·沉积温度对HfC涂层形貌结构的影响 | 第34-39页 |
·沉积温度对HfC涂层表面形貌的影响 | 第34-36页 |
·沉积温度对HfC涂层断面结构的影响 | 第36-39页 |
·沉积温度对HfC沉积的影响机制 | 第39-43页 |
·HfC涂层的沉积过程 | 第39-41页 |
·HfC涂层结构形貌的形成影响因素 | 第41-42页 |
·沉积温度对HfC涂层结构的影响机制 | 第42-43页 |
·沉积温度对HfC涂层力学性能的影响 | 第43-44页 |
·本章小结 | 第44-46页 |
第四章 前驱体中碳铪比对HfC涂层组织结构的影响 | 第46-57页 |
·前驱体中碳铪比对涂层的沉积速率的影响 | 第46-48页 |
·工艺参数设计 | 第46页 |
·前驱体中碳铪比对HfC涂层沉积速率的影响 | 第46-47页 |
·前驱体中碳铪比对沉积速率均匀性的影响 | 第47-48页 |
·前驱体中碳铪比对HfC涂层相组成和晶体结构的影响 | 第48-50页 |
·前驱体中碳铪比对HfC涂层相组成的影响 | 第48-49页 |
·前驱体中碳铪比对HfC涂层晶粒晶体结构的影响 | 第49-50页 |
·前驱体中碳铪比对HfC涂层形貌结构的影响 | 第50-54页 |
·前驱体中碳铪比对HfC涂层表面微观形貌的影响 | 第50-51页 |
·前驱体中碳铪比对HfC涂层断面结构的影响 | 第51-54页 |
·前驱体中碳铪比对HfC涂层沉积的影响机制 | 第54-55页 |
·前驱体中碳铪比对HfC涂层力学性能的影响 | 第55-56页 |
·本章小结 | 第56-57页 |
第五章 氢气浓度对HfC涂层组织结构的影响 | 第57-71页 |
·氢气浓度对涂层的沉积速率的影响 | 第57-59页 |
·工艺参数设计 | 第57页 |
·氢气浓度对HfC涂层沉积速率的影响 | 第57-58页 |
·氢气浓度对沉积速率均匀性的影响 | 第58-59页 |
·氢气浓度对HfC涂层相组成和晶体结构的影响 | 第59-61页 |
·氢气浓度对HfC涂层晶体相组成的影响 | 第59-60页 |
·氢气浓度对HfC涂层晶粒晶体结构的影响 | 第60-61页 |
·氢气浓度对HfC涂层形貌结构的影响 | 第61-67页 |
·氢气浓度对HfC涂层表面微观形貌的影响 | 第61-64页 |
·氢气浓度对HfC涂层断面结构的影响 | 第64-67页 |
·氢气浓度对HfC涂层沉积的影响机制 | 第67-68页 |
·氢气浓度对HfC涂层力学性能的影响 | 第68-70页 |
·本章小结 | 第70-71页 |
第六章 结论 | 第71-73页 |
参考文献 | 第73-78页 |
致谢 | 第78-79页 |
攻读硕士学位期间的主要研究成果 | 第79页 |