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化学气相沉积HfC陶瓷涂层的制备和结构

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
目录第7-10页
第一章 绪论第10-19页
   ·C/C复合材料的应用背景第10-12页
     ·C/C复合材料的特点第10-11页
     ·C/C复合材料作为高温结构材料的应用第11页
     ·C/C复合材料作为高温抗烧蚀材料的应用第11-12页
   ·提高C/C复合材料抗烧蚀性能的途径第12-16页
     ·C/C复合材料的烧蚀机理第12-13页
     ·基体改性法第13页
     ·涂层技术第13-16页
   ·HfC的物理化学性质第16页
   ·HfC涂层的制备方法第16-17页
     ·液相先驱体转化法第16-17页
     ·等离子喷涂法第17页
     ·磁控溅射法第17页
     ·化学气相沉积法第17页
   ·本课题主要研究方向和研究内容第17-19页
第二章 CVD-HfC涂层的制备及性能测试第19-29页
   ·反应体系的选择第19-23页
     ·反应体系选择第19-20页
     ·热力学分析第20-22页
     ·动力学分析第22-23页
   ·CVD设备系统第23-25页
     ·CVD设备第23-24页
     ·粉体输送装置第24-25页
   ·HfC涂层的制备第25-27页
     ·沉积基体的选择第25-26页
     ·铪源前驱体的选择第26-27页
     ·碳源前驱体及其他原料的选择第27页
   ·HfC涂层的表征与性能检测第27-29页
     ·涂层沉积速率测试第27页
     ·X射线衍射分析第27-28页
     ·SEM表面形貌及组织结构分析第28页
     ·显微硬度测试第28-29页
第三章 沉积温度对HfC涂层组织结构的影响第29-46页
   ·沉积温度对涂层沉积速率的影响第29-32页
     ·工艺参数设计第29页
     ·沉积温度对HfC涂层沉积速率的影响第29-30页
     ·沉积温度对沉积速率均匀性的影响第30-32页
   ·沉积温度对HfC涂层相组成和晶体结构的影响第32-34页
     ·沉积温度对HfC涂层相组成的影响第32-33页
     ·沉积温度对HfC涂层晶体结构的影响第33-34页
   ·沉积温度对HfC涂层形貌结构的影响第34-39页
     ·沉积温度对HfC涂层表面形貌的影响第34-36页
     ·沉积温度对HfC涂层断面结构的影响第36-39页
   ·沉积温度对HfC沉积的影响机制第39-43页
     ·HfC涂层的沉积过程第39-41页
     ·HfC涂层结构形貌的形成影响因素第41-42页
     ·沉积温度对HfC涂层结构的影响机制第42-43页
   ·沉积温度对HfC涂层力学性能的影响第43-44页
   ·本章小结第44-46页
第四章 前驱体中碳铪比对HfC涂层组织结构的影响第46-57页
   ·前驱体中碳铪比对涂层的沉积速率的影响第46-48页
     ·工艺参数设计第46页
     ·前驱体中碳铪比对HfC涂层沉积速率的影响第46-47页
     ·前驱体中碳铪比对沉积速率均匀性的影响第47-48页
   ·前驱体中碳铪比对HfC涂层相组成和晶体结构的影响第48-50页
     ·前驱体中碳铪比对HfC涂层相组成的影响第48-49页
     ·前驱体中碳铪比对HfC涂层晶粒晶体结构的影响第49-50页
   ·前驱体中碳铪比对HfC涂层形貌结构的影响第50-54页
     ·前驱体中碳铪比对HfC涂层表面微观形貌的影响第50-51页
     ·前驱体中碳铪比对HfC涂层断面结构的影响第51-54页
   ·前驱体中碳铪比对HfC涂层沉积的影响机制第54-55页
   ·前驱体中碳铪比对HfC涂层力学性能的影响第55-56页
   ·本章小结第56-57页
第五章 氢气浓度对HfC涂层组织结构的影响第57-71页
   ·氢气浓度对涂层的沉积速率的影响第57-59页
     ·工艺参数设计第57页
     ·氢气浓度对HfC涂层沉积速率的影响第57-58页
     ·氢气浓度对沉积速率均匀性的影响第58-59页
   ·氢气浓度对HfC涂层相组成和晶体结构的影响第59-61页
     ·氢气浓度对HfC涂层晶体相组成的影响第59-60页
     ·氢气浓度对HfC涂层晶粒晶体结构的影响第60-61页
   ·氢气浓度对HfC涂层形貌结构的影响第61-67页
     ·氢气浓度对HfC涂层表面微观形貌的影响第61-64页
     ·氢气浓度对HfC涂层断面结构的影响第64-67页
   ·氢气浓度对HfC涂层沉积的影响机制第67-68页
   ·氢气浓度对HfC涂层力学性能的影响第68-70页
   ·本章小结第70-71页
第六章 结论第71-73页
参考文献第73-78页
致谢第78-79页
攻读硕士学位期间的主要研究成果第79页

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