| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题的研究背景 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.1 超声清洗技术国内外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 超声清洗技术的方式及特点 | 第13-15页 |
| 1.2.3 玻璃基板的清洗技术及相关设备研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3 课题研究的意义 | 第18-19页 |
| 1.4 本课题研究的主要内容 | 第19-20页 |
| 2 超声波清洗设备的系统组成及清洗原理 | 第20-31页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 超声波清洗设备的系统组成 | 第20-22页 |
| 2.2.1 超声波清洗设备的主要技术参数 | 第21页 |
| 2.2.2 超声波清洗设备的工作原理 | 第21-22页 |
| 2.3 设备的清洗原理 | 第22-30页 |
| 2.3.1 空气循环原理 | 第23页 |
| 2.3.2 清洗原理 | 第23-25页 |
| 2.3.3 超声波透射原理 | 第25-28页 |
| 2.3.4 超声波汇聚原理 | 第28-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 超声波清洗设备升降机构设计及相关零部件静力学分析 | 第31-52页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 升降机构的设计 | 第31-40页 |
| 3.2.1 升降机构动力系统设计 | 第34-36页 |
| 3.2.2 升降机构齿轮齿条的设计 | 第36-38页 |
| 3.2.3 升降机构定位精度的分析 | 第38-40页 |
| 3.3 玻璃基板变形量的静力学分析 | 第40-44页 |
| 3.3.1 静力学分析相关理论 | 第40-41页 |
| 3.3.2 薄板假设理论 | 第41页 |
| 3.3.3 玻璃基板变形量静力学分析 | 第41-44页 |
| 3.4 单根支撑型材静力学分析 | 第44-47页 |
| 3.5 顶销结构的设计及静力学分析 | 第47-50页 |
| 3.5.1 顶销结构的设计 | 第47-48页 |
| 3.5.2 顶销结构设计原则 | 第48页 |
| 3.5.3 顶销结构的静力学分析 | 第48-50页 |
| 3.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 4 超声波清洗设备传动系统结构设计及静力学分析 | 第52-63页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 传动结构的设计 | 第52-59页 |
| 4.2.1 线性模块设计计算 | 第54-57页 |
| 4.2.2 传动结构动力系统设计 | 第57-59页 |
| 4.3 传动系统传动轴的强度及刚度校核 | 第59-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 5 支撑系统关键零部件静力学分析及其它辅助机构的设计 | 第63-75页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 阴刻台板的结构设计 | 第63-66页 |
| 5.2.1 阴刻台板工艺分析 | 第63-64页 |
| 5.2.2 阴刻台板的静力学分析 | 第64-66页 |
| 5.3 支撑结构的静力学分析 | 第66-71页 |
| 5.4 其它辅助结构的设计 | 第71-74页 |
| 5.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 6 超声波清洗设备关键零部件的优化设计及清洗性能验证 | 第75-98页 |
| 6.1 引言 | 第75页 |
| 6.2 关键零部件的模态分析 | 第75-79页 |
| 6.2.1 模态分析原理 | 第75-76页 |
| 6.2.2 支撑结构的模态分析 | 第76-78页 |
| 6.2.3 顶销结构的模态分析 | 第78-79页 |
| 6.3 关键零部件多目标优化 | 第79-87页 |
| 6.3.1 优化设计的一般过程 | 第79-80页 |
| 6.3.2 优化设计的数学模型 | 第80页 |
| 6.3.3 ANSYS Workbench多目标优化概述 | 第80-81页 |
| 6.3.4 顶销结构单根型材的多目标优化 | 第81-87页 |
| 6.4 清洗性能实验 | 第87-97页 |
| 6.5 本章小结 | 第97-98页 |
| 7 总结与展望 | 第98-100页 |
| 7.1 总结 | 第98-99页 |
| 7.2 展望 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-105页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的研究成果 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
