基于数值仿真的流体振动抛光机理研究
| 目录 | 第1-11页 |
| 摘要 | 第11-14页 |
| Abstract | 第14-18页 |
| 物理量名称及符号表 | 第18-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-40页 |
| ·引言 | 第20-21页 |
| ·高精密抛光方法的研究背景 | 第21-24页 |
| ·超声空化的研究背景 | 第24-30页 |
| ·空化核 | 第25页 |
| ·单泡空化 | 第25-28页 |
| ·气泡群空化 | 第28页 |
| ·空化破坏 | 第28-29页 |
| ·气泡动力学 | 第29-30页 |
| ·数值仿真方法在机械工程领域内的应用 | 第30-37页 |
| ·精密加工过程仿真的研究背景 | 第32-35页 |
| ·流体动力学仿真的研究背景 | 第35-37页 |
| ·本文的研究内容与研究目标 | 第37-40页 |
| 第二章 流体振动抛光的基本原理与实验设备 | 第40-46页 |
| ·基本原理 | 第40-42页 |
| ·实验设备 | 第42-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第三章 整体声场与流场计算 | 第46-64页 |
| ·抛光液中的声场分布 | 第46-58页 |
| ·驻波的简正分解理论 | 第46-50页 |
| ·驻波声场的数值计算 | 第50-58页 |
| ·抛光液流场的流固耦合计算 | 第58-62页 |
| ·小结 | 第62-64页 |
| 第四章 非稳态耗散颗粒动力学 | 第64-82页 |
| ·散颗粒动力学的基本原理与方法 | 第64-68页 |
| ·非稳态耗散颗粒动力学的理论推导 | 第68-76页 |
| ·速度朗之万方程的求解 | 第68-71页 |
| ·温度-密度关系 | 第71-74页 |
| ·压强-密度关系 | 第74-76页 |
| ·非稳态耗散颗粒动力学的函数设计 | 第76-77页 |
| ·非稳态耗散颗粒动力学的数值验证 | 第77-81页 |
| ·小结 | 第81-82页 |
| 第五章 声致空化的耗散颗粒动力学仿真 | 第82-114页 |
| ·空化仿真模型的建立 | 第83-95页 |
| ·模型的总体描述 | 第83-84页 |
| ·空间尺度选择与相分离方案 | 第84-86页 |
| ·气泡的非稳态耗散颗粒模型 | 第86-88页 |
| ·液体的耗散颗粒模型与相似原理 | 第88-91页 |
| ·边界条件与初始条件 | 第91-94页 |
| ·数据分析方法 | 第94-95页 |
| ·单泡空化的仿真 | 第95-104页 |
| ·非对称空化 | 第95-103页 |
| ·对称空化 | 第103-104页 |
| ·气泡群空化的仿真 | 第104-109页 |
| ·多相抛光液中空化的仿真 | 第109-112页 |
| ·空化的加工作用 | 第112页 |
| ·小结 | 第112-114页 |
| 第六章 微观加工机理的分子动力学研究 | 第114-140页 |
| ·分子动力学的基本原理与方法 | 第114-119页 |
| ·微观加工过程的分子动力学建模 | 第119-124页 |
| ·加工过程的自由冲击模型 | 第119-121页 |
| ·粒子间作用力的计算 | 第121-123页 |
| ·运动方程积分及算法改进 | 第123-124页 |
| ·单次冲击过程的仿真 | 第124-135页 |
| ·垂直冲击 | 第124-128页 |
| ·斜向冲击 | 第128-131页 |
| ·加工坑形成机制 | 第131-135页 |
| ·多次冲击与加工表面特点 | 第135-138页 |
| ·小结 | 第138-140页 |
| 第七章 实验研究 | 第140-150页 |
| ·石英玻璃的抛光实验 | 第140-146页 |
| ·垂直流场与点蚀坑 | 第140-142页 |
| ·倾斜流场与总体加工质量 | 第142-146页 |
| ·硅片的抛光实验 | 第146-148页 |
| ·小结 | 第148-150页 |
| 全文总结 | 第150-154页 |
| 参考文献 | 第154-168页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第168-172页 |
| 致谢 | 第172-174页 |
| 附录1 傅立叶级数与简正分解 | 第174-178页 |
| 附录2 空化耗散颗粒动力学仿真的计算流程 | 第178-183页 |
| 附录3 磨粒冲击分子动力学仿真程序摘录 | 第183-193页 |
