平板电极间射频气体放电均匀性的研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
1 绪论	第8-14页
·射频激励气体激光器的发展概况	第8-12页
·课题来源、目的和意义	第12-14页
2 气体激光器的射频激励方式	第14-21页
·气体激光器电激励方式的一般分析	第14-17页
·射频气体放电特征	第17-20页
·本章小结	第20-21页
3 电磁场数值分析法	第21-33页
·电磁场基本理论	第21-25页
·麦克斯韦方程的微分形式	第21-22页
·本构关系	第22页
·矢量磁矢和标量电势	第22-24页
·电磁场求解中常见边界条件	第24-25页
·时域有限差分法	第25-27页
·有限积分法对射频平板电极间电场分布的计算	第27-32页
·场域离散化	第28-29页
·方程离散化	第29-32页
·本章小结	第32-33页
4 平板电极间电场分布的有限元计算	第33-49页
·有限元法的发展和基本思想	第33-35页
·有限元法的发展	第33-34页
·基本思想	第34-35页
·平板电极间稳态电磁场问题的一维有限元求解	第35-41页
·射频平板电极间电场分布的二维有限元仿真	第41-48页
·ANSYS 高频电磁场分析简介	第41-44页
·射频平板电极间的电场分布	第44-48页
·本章小结	第48-49页
5 射频平板电极间电场分布均匀性的研究	第49-58页
·单个电感对射频平板电极间电场分布的影响	第49-52页
·并联电感对射频平板电极间电场分布的影响	第52-56页
·射频平板电场ANSYS 仿真中存在的问题	第56-57页
·本章小结	第57-58页
6 全文总结	第58-59页
致谢	第59-60页
参考文献	第60-63页
附录	第63-65页