地震动加速度传感器的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第9-10页 |
| ·地震动传感器的国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·电容式加速度计的研究现状 | 第13-20页 |
| ·本文主要工作 | 第20-21页 |
| 第二章 地震动加速度计结构设计及优化 | 第21-40页 |
| ·引言 | 第21-22页 |
| ·地震动传感器原理结构选择 | 第22-23页 |
| ·电容式加速度计梁结构选择 | 第23-33页 |
| ·理论分析 | 第24-30页 |
| ·仿真分析 | 第30-33页 |
| ·电容式加速度计微结构优化 | 第33-39页 |
| ·微结构参数与性能参数的关系 | 第33-37页 |
| ·整体结构参数的优化设计 | 第37-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 第三章 微加速度计的性能分析 | 第40-56页 |
| ·引言 | 第40-41页 |
| ·静力分析 | 第41-45页 |
| ·模态分析 | 第45-47页 |
| ·瞬态动力学分析 | 第47-51页 |
| ·谐响应分析 | 第51-53页 |
| ·耦合场分析 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第四章 地震动传感器的阻尼研究 | 第56-67页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·压膜阻尼 | 第56-64页 |
| ·压力分布方程的推导 | 第57-60页 |
| ·压力分布方程的求解 | 第60-64页 |
| ·阻尼优化设计 | 第64页 |
| ·阻尼仿真 | 第64-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第五章 灌封对加速度计封装的影响 | 第67-77页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·频域分析 | 第67-72页 |
| ·封装前加速度芯片的固有频率和振型 | 第69-70页 |
| ·封装后加速度芯片的固有频率和振型 | 第70-72页 |
| ·时域分析 | 第72-76页 |
| ·常加速度载荷下的位移与应力 | 第72-73页 |
| ·加速度脉冲载荷下的时域响应 | 第73-76页 |
| ·小结 | 第76-77页 |
| 第六章 加速度计工艺及测试系统 | 第77-84页 |
| ·工艺流程及版图设计 | 第77-80页 |
| ·工艺设计 | 第77-78页 |
| ·版图设计 | 第78-80页 |
| ·测试系统设计 | 第80-83页 |
| ·电容检测电路 | 第81页 |
| ·静电力反馈电路 | 第81页 |
| ·地震波的去噪处理 | 第81-83页 |
| ·小结 | 第83-84页 |
| 总结与展望 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及参加的科研项目 | 第92页 |
