微气压传感器测试系统的自动控制及其测试

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-13页
·微气压传感器的研究现状	第8-9页
·真空自动测控系统的研究概况	第9-11页
·自动测控系统	第9-11页
·真空系统的测量与控制	第11页
·本文研究的内容	第11-13页
2 微热板式微气压传感器及其测试方法	第13-19页
·微热板式微气压传感器	第13-16页
·微热板式微气压传感器的结构及工作原理	第13-15页
·微热板式微气压传感器的基本特性	第15-16页
·微热板式微气压传感器的测试方法	第16-19页
·影响微气压传感器测试的因素	第16-17页
·微热板式微气压传感器的测试方案	第17页
·测试系统的控制策略	第17-19页
3 真空自动测控系统的设计	第19-30页
·测控系统的原理	第19-20页
·测控系统的硬件设计	第20-23页
·真空系统	第20-21页
·仪器仪表	第21-22页
·驱动及测试电路	第22-23页
·测控系统的组建	第23页
·测控系统的软件设计	第23-30页
·测控系统的软件框图	第23-24页
·采样时间设定模块	第24-26页
·加热模式设定模块	第26页
·数据处理与实时信号显示模块	第26-27页
·电源输出及气压控制模块	第27-30页
4 真空自动测控系统的算法研究	第30-51页
·真空室气压控制方案	第30-33页
·真空系统模型分析	第31-32页
·气压控制算法	第32-33页
·模糊控制器	第33-42页
·模糊控制的理论基础	第33-34页
·模糊控制器结构设计	第34-36页
·模糊控制器的实现	第36-42页
·模糊 PID控制器	第42-46页
·模糊 PID控制器理论基础	第42-43页
·模糊 PID控制器实现	第43-46页
·控制系统建模与仿真	第46-49页
·控制系统建模	第46-48页
·控制系统仿真	第48-49页
·模糊控制器的比较	第49-51页
5 测控系统的真空自动控制及传感器的测试实验	第51-58页
·测控系统的真空自动控制实验	第51-53页
·传感器的测试实验研究	第53-58页
·微热板式微气压传感器的静态测试与分析	第53-55页
·微热板式微气压传感器的动态测试与分析	第55-58页
结论	第58-60页
参考文献	第60-63页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第63-64页
致谢	第64-65页
大连理工大学学位论文版权使用授权书	第65页