| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 图表索引 | 第4-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-12页 |
| 1．1 本章主要内容 | 第7页 |
| 1．2 激光加工概述 | 第7-8页 |
| 1．3 激光产业发展现状 | 第8-9页 |
| 1．3．1 国外激光产业发展现状 | 第8页 |
| 1．3．2 我国激光产业发展现状 | 第8-9页 |
| 1．4 激光调阻机的研究现状 | 第9页 |
| 1．5 激光调阻机研究的意义 | 第9-10页 |
| 1．6 本文主要研究的内容 | 第10-11页 |
| 1．7 本章小节 | 第11-12页 |
| 第二章 激光调阻机原理及构成 | 第12-18页 |
| 2．1 本章主要内容 | 第12页 |
| 2．2 厚薄膜电阻微调方法及其原理 | 第12-16页 |
| 2．2．1 喷砂微调 | 第12-14页 |
| 2．2．2 脉冲电压微调 | 第14页 |
| 2．2．3 激光微调 | 第14-15页 |
| 2．2．4 激光微调的特点 | 第15-16页 |
| 2．3 激光调阻机的构成 | 第16-17页 |
| 2．3．1 机械系统 | 第16-17页 |
| 2．3．2 检测与控制系统 | 第17页 |
| 2．4 本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章 激光调阻机光学系统组成 | 第18-26页 |
| 3．1 本章主要内容 | 第18页 |
| 3．2 激光调阻机光学系统的构成 | 第18-19页 |
| 3．3 光源系统 | 第19-22页 |
| 3．3．1 激光器 | 第19-21页 |
| 3．3．2 衰减器 | 第21页 |
| 3．3．3 扩束器 | 第21-22页 |
| 3．4 光束扫描系统 | 第22-24页 |
| 3．4．1 光束扫描方式的选择 | 第22-24页 |
| 3．4．2 f~θ聚焦透镜 | 第24页 |
| 3．5 监视系统 | 第24-25页 |
| 3．5．1 分光镜 | 第25页 |
| 3．5．2 调阻区域照明光源 | 第25页 |
| 3．6 本章小结 | 第25-26页 |
| 第四章 双振镜二维扫描系统的工作原理 | 第26-33页 |
| 4．1 本章主要内容 | 第26页 |
| 4．2 振镜偏转器的工作原理 | 第26-27页 |
| 4．3 振镜扫描常用的输入波形 | 第27-30页 |
| 4．3．1 步进扫描方式(Step Scanning) | 第27-29页 |
| 4．3．2 光栅扫描方式(Raster Scanning) | 第29-30页 |
| 4．3．3 矢量扫描方式(Vector Scanning) | 第30页 |
| 4．4 振镜扫描的光路的布置 | 第30-31页 |
| 4．5 双振镜二维扫描系统的工作原理 | 第31-32页 |
| 4．6 本章小节 | 第32-33页 |
| 第五章 双振镜二维扫描畸变的校正 | 第33-48页 |
| 5．1 本章主要内容 | 第33页 |
| 5．2 双振镜二维扫描系统数学模型的建立 | 第33-36页 |
| 5．2．1 振镜二维扫描系统出射光线的单位矢量和振镜偏转角的关系 | 第33-35页 |
| 5．2．2 振镜偏转角与扫描场内任意点坐标的关系 | 第35-36页 |
| 5．3 双振镜扫描几何畸变分析 | 第36-38页 |
| 5．4 畸变的校正 | 第38-44页 |
| 5．4．1 用理论关系式计算理想扫描点(x，y)对应的扫描畸变量 | 第39-41页 |
| 5．4．2 理论关系式式的等效关系式的推导 | 第41-43页 |
| 5．4．3 等效关系式校正时，扫描点(x，y)的光束扫描误差△x，△y | 第43-44页 |
| 5．5 三种方法的扫描时间比较 | 第44-47页 |
| 5．5．1 扫描步长的确定 | 第44-45页 |
| 5．5．2 算法的实现 | 第45-47页 |
| 5．6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第六章 光学系统装调误差研究及补偿 | 第48-51页 |
| 6．1 本章主要内容 | 第48页 |
| 6．2 入射光与激光调阻机光学系统光轴倾斜 | 第48-49页 |
| 6．3 第二振镜与f~θ透镜非正交 | 第49-50页 |
| 6．4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 作者简介 | 第56页 |
