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PZT相移系统及其标定方法的研究与应用

摘 要第1-7页
ABSTRACT第7-9页
第一章 绪论第9-18页
 §1.1 光学相位测量的重要性第9-11页
 §1.2 主要的相位测量方法第11-13页
 §1.3 相移装置的比较第13-16页
 §1.4 相移位相测量技术的难点第16-17页
 §1.5 本文的主要工作及创新点第17-18页
第二章 相移位相测量原理及系统第18-36页
 §2.1 相移位相测量原理第18-21页
 §2.2 压电陶瓷的特性分析第21-23页
 §2.3 系统设计第23-30页
  §2.3.1 相移器设计及驱动模块的实现第23-25页
  §2.3.2 图像采集模块第25-30页
 §2.4 PZT特性测试第30-35页
  §2.4.1 标定原理第30-31页
  §2.4.2 实验研究第31-33页
  §2.4.3 综合分析第33-35页
 §2.5 小结第35-36页
第三章 相移技术研究第36-58页
 §3.1 相移器标定方法第36-39页
 §3.2 相移相关技术研究第39-45页
  §3.2.1 驱动方式第39-42页
  §3.2.2 同步采集第42-43页
  §3.2.3 回零控制法第43-45页
 §3.3 多步相移技术第45-48页
  §3.3.1 整周期的确定第45-46页
  §3.3.2 多步相移实验第46-48页
 §3.4 五步相移法第48-51页
  §3.4.1 标定原理第48-49页
  §3.4.2 实验第49-51页
 §3.5 基于数字相关的相移方法第51-57页
  §3.5.1 引言第51页
  §3.5.2 原理第51-52页
  §3.5.3 相关算法描述第52-53页
  §3.5.4 实验第53-55页
  §3.5.5 分析和讨论第55-57页
 §3.6 小结第57-58页
第四章 应用研究第58-76页
 §4.1 相移三维形貌测量第58-67页
  §4.1.1 引言第58页
  §4.1.2 相位测量剖面术的原理第58-59页
  §4.1.3 相位计算第59-60页
  §4.1.4 相位解包第60-61页
  §4.1.5 物体高度计算第61-62页
  §4.1.6 实验第62-67页
 §4.2 相移数字全息术第67-75页
  §4.2.1 同轴全息第67-68页
  §4.2.2 同轴相移数字全息术第68-70页
  §4.2.3 无透镜傅立叶变换全息图第70-71页
  §4.2.4 实验第71-75页
 §4.3 小结第75-76页
第五章 总结第76-77页
谢辞第77-78页
参考文献第78-84页
附录A第84页

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