数字波面干涉仪及其标准化研究
| 目录 | 第1-6页 |
| 1 绪论 | 第6-9页 |
| ·干涉仪发展简述 | 第6页 |
| ·国内对干涉仪的广泛需求 | 第6-7页 |
| ·干涉仪标准／检定规程的必要性和紧迫性 | 第7页 |
| ·本论文的主要工作 | 第7-9页 |
| 2 数字波面干涉仪 | 第9-21页 |
| ·干涉仪的历史与发展 | 第9-12页 |
| ·早先的干涉仪 | 第9-10页 |
| ·数字波面干涉技术 | 第10-11页 |
| ·目前干涉仪的特点和发展趋势 | 第11-12页 |
| ·典型干涉仪的应用领域 | 第12-16页 |
| ·干涉仪的类型 | 第12-13页 |
| ·目前几种典型的干涉仪 | 第13-15页 |
| ·目前国内干涉仪生产的差距 | 第15-16页 |
| ·提高干涉仪精度的绝对检验技术 | 第16-20页 |
| ·平面绝对检验技术 | 第16-18页 |
| ·球面绝对检验技术 | 第18-19页 |
| ·柱面的绝对检验技术 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 干涉仪的性能分析 | 第21-40页 |
| ·硬件主要构成 | 第21-22页 |
| ·干涉仪的软件包 | 第22-26页 |
| ·软件包的基本界面 | 第22-23页 |
| ·软件算法与软件内核 | 第23-26页 |
| ·干涉仪光学性能评价 | 第26-33页 |
| ·光学质量评价基准 | 第26-27页 |
| ·重复性的评价方法 | 第27-28页 |
| ·最佳估计值的获得 | 第28-29页 |
| ·不确定度的评定 | 第29-33页 |
| ·干涉仪环境条件的测试与分析 | 第33-39页 |
| ·温度和振动的影响 | 第33-38页 |
| ·干涉腔长的影响 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 干涉仪的标准化工作 | 第40-60页 |
| ·标准化的大环境要求 | 第40-48页 |
| ·WTO与标准化 | 第40-42页 |
| ·干涉仪的计量保证方案(MAP)对标准化的要求 | 第42-47页 |
| ·国内标准的状况和存在的问题 | 第47-48页 |
| ·数字波面干涉仪标准的编写 | 第48-52页 |
| ·干涉仪的编写说明 | 第48-50页 |
| ·数字波面干涉仪标准框架 | 第50-51页 |
| ·检定规程的框架 | 第51-52页 |
| ·标准中重要指标的确定 | 第52-57页 |
| ·干涉仪的等级划分 | 第52-53页 |
| ·环境条件的确定 | 第53-55页 |
| ·干涉仪检定周期的确定 | 第55-57页 |
| ·相关的其他工作 | 第57-59页 |
| ·平晶标准／检定规程 | 第57-58页 |
| ·齐明透镜标准／检定规程 | 第58-59页 |
| ·标准化对新干涉仪开发的作用 | 第59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 5 全文总结 | 第60-61页 |
| ·本文的主要工作和创新点 | 第60页 |
| ·有待解决的问题 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-63页 |
