波长1.3μm高速光电探测器研究
| 第一章 概论 | 第1-10页 |
| 1．1 引言 | 第6-8页 |
| 1．2 本论文研究的目的意义 | 第8页 |
| 1．3 内容简介 | 第8-10页 |
| 第二章 器件结构原理 | 第10-14页 |
| 2．1 工作原理 | 第10-12页 |
| 2．2 芯片结构 | 第12-13页 |
| 2．3 封装结构 | 第13-14页 |
| 第三章 理论分析 | 第14-21页 |
| 3．1 光子吸收 | 第14-15页 |
| 3．2 光谱响应 | 第15-16页 |
| 3．3 调制频率响应 | 第16-17页 |
| 3．4 响应度和量子效率 | 第17-18页 |
| 3．5 噪声特性 | 第18-21页 |
| 第四章 参数计算与器件结构设计 | 第21-29页 |
| 4．1 光电二极管设计的一般考虑 | 第21页 |
| 4．2 探测器结构优化 | 第21-23页 |
| 4．3 光耦合 | 第23-25页 |
| 4．4 微波封装 | 第25-27页 |
| 4．5 芯片结构设计 | 第27页 |
| 4．6 表面钝化膜设计 | 第27-29页 |
| 第五章 工艺设计 | 第29-39页 |
| 5．1 外延生长 | 第29-32页 |
| 5．2 扩散 | 第32-35页 |
| 5．3 光刻 | 第35-36页 |
| 5．4 集成微透镜 | 第36-38页 |
| 5．5 烧结压焊工艺 | 第38-39页 |
| 第六章 实验及结论 | 第39-45页 |
| 6．1 器件结构与制作 | 第39-40页 |
| 6．2 选用的关键设备、仪器 | 第40页 |
| 6．3 测试 | 第40-42页 |
| 6．4 频响曲线 | 第42-43页 |
| 6．5 国内外水平对比 | 第43页 |
| 6．6 应用情况 | 第43页 |
| 6．7 讨论 | 第43-45页 |
| 结束语 | 第45-46页 |
| 致 谢 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47页 |
