原子钟碱金属蒸汽腔制作设备研制与工艺研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
1 引言	第8-19页
·课题来源及目的	第8页
·原子钟发展综述	第8-12页
·原子钟与计时	第8-11页
·原子钟的微型化研究	第11-12页
·MEMS 封装综述	第12-17页
·MEMS 及其封装技术	第12-13页
·MEMS 气密键合技术	第13-17页
·本论文主要研究内容	第17-19页
2 碱金属蒸汽腔制作工艺	第19-29页
·铷、铯与原子钟	第19-20页
·碱金属蒸汽腔制作综述	第20-26页
·碱金属蒸汽腔制作工艺实现	第26-28页
·本章小结	第28-29页
3 碱金属蒸汽腔制作设备研制	第29-42页
·可浮动阳极键合台设计	第30-38页
·气密手套箱设计	第38-39页
·温度控制设备设计	第39-40页
·附件设计及整体集成	第40-41页
·本章小结	第41-42页
4 碱金属蒸汽腔制作工艺研究	第42-57页
·键合样品的清洗	第42-44页
·蒸汽腔制作与三层键合技术研究	第44-51页
·蒸汽腔的制作	第44-48页
·三层键合技术研究	第48-51页
·铷对键合的影响研究	第51-53页
·铷蒸汽腔检测	第53-56页
·键合强度检测	第53-55页
·光谱检测	第55-56页
·本章小结	第56-57页
5 总结与展望	第57-59页
·本文总结	第57页
·碱金属蒸汽腔制作展望	第57-59页
致谢	第59-60页
参考文献	第60-62页