二维超精工件台及其控制系统的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·精密定位技术研究的重要意义 | 第10-11页 |
| ·精密工件台关键技术研究现状和发展趋势 | 第11-18页 |
| ·柔性铰链微位移平台研究现状及其发展趋势 | 第11-15页 |
| ·压电陶瓷驱动器迟滞非线性建模技术研究现状及趋势 | 第15-17页 |
| ·精密工件台控制技术研究现状及发展趋势 | 第17-18页 |
| ·本论文的研究内容及安排 | 第18-20页 |
| 第二章 二维微动精密工件台的设计与分析 | 第20-29页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·二维微动精密工件台的设计 | 第20-21页 |
| ·运动学分析 | 第21-23页 |
| ·逆向运动学建模 | 第21-22页 |
| ·前向运动学建模 | 第22页 |
| ·速度分析 | 第22-23页 |
| ·动力学分析 | 第23-25页 |
| ·有限元分析 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动器迟滞非线性建模技术的研究 | 第29-41页 |
| ·引言 | 第29-30页 |
| ·Preisach模型的建立 | 第30-33页 |
| ·Preisach模型的实现 | 第33-37页 |
| ·BP神经网络建模 | 第33-35页 |
| ·RBF神经网络建模 | 第35-36页 |
| ·支持向量回归机数学模型 | 第36-37页 |
| ·仿真及实验研究 | 第37-40页 |
| ·基于BP神经网络的Preisach模型 | 第38页 |
| ·基于RBF神经网络的Preisach模型 | 第38-39页 |
| ·基于支持向量机的Preisach模型 | 第39页 |
| ·仿真与实验结果分析 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 精密定位综合实验平台的研究 | 第41-52页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·实验平台的整体方案设计 | 第41-42页 |
| ·基于DSP和FPGA的运动测控系统 | 第42-48页 |
| ·基于DsP和FPGA的运动测控系统的研制 | 第42-46页 |
| ·基于PA85的功率放大器的研制 | 第46-48页 |
| ·压电陶瓷驱动器及电压调理模块的选用 | 第48-50页 |
| ·压电陶瓷驱动器 | 第48-49页 |
| ·电压调理模块 | 第49-50页 |
| ·测量系统的选取 | 第50页 |
| ·系统的集成 | 第50-51页 |
| ·系统的软件设计 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 二维微动精密定位控制方法及实验研究 | 第52-67页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·精密定位系统的数学模型 | 第52-54页 |
| ·运算放大电路数学模型 | 第52-53页 |
| ·压电陶瓷驱动器数学模型 | 第53页 |
| ·微动精密工件台数学模型 | 第53-54页 |
| ·二维微动精密工件台的开环定位控制研究 | 第54-55页 |
| ·二维微动精密工件台的闭环定位控制研究 | 第55-61页 |
| ·PID控制器 | 第55-56页 |
| ·基于遗传算法整定的PID控制器 | 第56-58页 |
| ·基于离散论域的模糊PID控制器 | 第58-61页 |
| ·实验研究 | 第61-66页 |
| ·阶跃响应实验 | 第61-62页 |
| ·精密定位实验 | 第62-63页 |
| ·平面曲线轨迹跟踪实验 | 第63-65页 |
| ·误差分析 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论与展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 攻读硕士学位期间完成的科研论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
