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氟化类金刚石薄膜疏水性能研究

中文摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 前言第7-14页
   ·DLC 薄膜概述第7-8页
   ·DLC 薄膜的结构第8-10页
   ·F-DLC 薄膜第10页
   ·F-DLC 薄膜的结构第10页
   ·F-DLC 薄膜的制备第10-11页
   ·氟对DLC 薄膜性能的影响第11-12页
   ·本研究小组的研究基础第12页
   ·本论文的主要研究内容第12-14页
第二章 F-DLC 薄膜的制备第14-19页
   ·射频反应磁控溅射技术第14-18页
     ·溅射技术(sputtering)第14-15页
     ·射频溅射技术(RF magnetron sputtering)第15页
     ·射频磁控溅射技术(RF magnetron sputtering)第15-16页
     ·射频反应磁控溅射技术(RF reactive magnetron sputtering)第16-17页
     ·射频反应磁控溅射装置第17-18页
   ·基片及其预处理第18-19页
第三章 F-DLC 薄膜的结构及性能表征第19-29页
   ·F-DLC 薄膜厚度的测量第19页
   ·F-DLC 薄膜表面形貌的原子力显微镜表征第19-20页
   ·F-DLC 薄膜的拉曼光谱表征(RAMAN SPECTROSCOPY)第20-23页
   ·F-DLC 薄膜的傅立叶红外吸收光谱表征(FTIR SPECTROSCOPY)第23-26页
   ·F-DLC 薄膜的疏水性能表征第26-29页
第四章 F-DLC 薄膜疏水性能研究第29-49页
   ·F-DLC 薄膜的疏水性能研究第29-32页
     ·不同射频功率下F-DLC 薄膜的疏水性能第29-30页
     ·不同流量比下F-DLC 薄膜的疏水性能第30-32页
   ·F-DLC 薄膜的沉积速率第32-34页
   ·F-DLC 薄膜的AFM 图谱研究第34-39页
   ·F-DLC 薄膜的拉曼图谱研究第39-43页
   ·F-DLC 薄膜的红外吸收图谱研究第43-49页
第五章 结论第49-50页
参考文献第50-53页
攻读学位期间公开发表论文第53-54页
致谢第54-55页
详细摘要第55-57页

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