微细超声微小加工力的控制方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题来源及研究背景 | 第9-10页 |
| ·课题来源 | 第9页 |
| ·课题研究背景 | 第9-10页 |
| ·微细超声加工技术及研究进展 | 第10-13页 |
| ·超声波及其相关特性 | 第10-11页 |
| ·微细超声加工的基本原理及装置 | 第11页 |
| ·微细超声加工基础理论的研究 | 第11-12页 |
| ·微细超声加工装置的研究 | 第12-13页 |
| ·微细超声加工技术存在的问题 | 第13页 |
| ·本文研究内容 | 第13-15页 |
| 2 微细超声加工中加工力影响因素的分析与研究 | 第15-22页 |
| ·微细超声加工中加工力力学模型的研究进展 | 第15-17页 |
| ·加工力影响因素的分析 | 第17-21页 |
| ·振动系统对加工力的影响 | 第17页 |
| ·磨料悬浮液对加工力的影响 | 第17页 |
| ·工具工件对加工力的影响 | 第17-18页 |
| ·反馈信号对加工力的影响 | 第18-19页 |
| ·伺服运动平台对加工力的影响 | 第19-20页 |
| ·控制系统对加工力的影响 | 第20页 |
| ·噪音和干扰对加工力的影响 | 第20-21页 |
| ·小结 | 第21-22页 |
| 3 微细超声加工中加工力控制方案的研究 | 第22-36页 |
| ·控制技术的发展 | 第22-23页 |
| ·微细超声加工中加工力控制的目标 | 第23页 |
| ·微细超声加工力双位控制方案 | 第23-24页 |
| ·微细超声加工力积分分离PID控制方案 | 第24-30页 |
| ·模拟PID控制原理 | 第25页 |
| ·数字PID控制算法 | 第25-27页 |
| ·积分分离PID控制算法 | 第27-28页 |
| ·PID控制器的参数整定 | 第28-30页 |
| ·微细超声加工力积分分离PID控制系统设计 | 第30页 |
| ·微细超声加工力模糊控制方案 | 第30-36页 |
| ·模糊控制技术简介 | 第30页 |
| ·微细超声加工力模糊控制系统设计 | 第30-31页 |
| ·微细超声加工力模糊控制器 | 第31-33页 |
| ·基于LabVIEW的微细超声加工力模糊控制器 | 第33-36页 |
| 4 微细超声加工装置及加工力控制系统的编程实现 | 第36-52页 |
| ·微细超声加工装置 | 第37-41页 |
| ·微细超声加工系统 | 第37-38页 |
| ·精密伺服进给系统及高精度旋转主轴 | 第38-39页 |
| ·微细工具制备系统 | 第39-41页 |
| ·实时观测和测量系统 | 第41页 |
| ·机床本体支撑系统 | 第41页 |
| ·控制系统的编程环境 | 第41-42页 |
| ·控制系统的编程实现 | 第42-49页 |
| ·手动控制模块 | 第42-44页 |
| ·加工模式选择模块 | 第44页 |
| ·探测模块 | 第44-45页 |
| ·主控制模块 | 第45页 |
| ·数据保存模块 | 第45页 |
| ·主轴控制模块 | 第45-48页 |
| ·电极加工及插补模块 | 第48-49页 |
| ·控制系统调试 | 第49-50页 |
| ·微细超声加工力积分分离PID控制系统参数的整定 | 第50-52页 |
| 5 加工实验及结果分析 | 第52-66页 |
| ·控制方案的选择 | 第52-53页 |
| ·积分分离PID控制系统的控制性能 | 第53-63页 |
| ·加工力波动范围和加工效率的对比分析 | 第54-56页 |
| ·积分分离PID控制系统控制能力 | 第56-57页 |
| ·不同控制系统下加工质量的对比分析 | 第57-58页 |
| ·磨粒尺寸对加工力的影响 | 第58-59页 |
| ·工具直径对加工力的影响 | 第59-60页 |
| ·工具旋转对加工力和加工效率的影响 | 第60-61页 |
| ·磨粒大小和进给深度对加工效率的影响 | 第61-63页 |
| ·加工实例 | 第63-65页 |
| ·二维型腔加工的研究 | 第63-64页 |
| ·三维型腔加工的研究 | 第64页 |
| ·不同控制系统下三维型腔加工质量的对比 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
