TiO2紫外探测器的制作及应用
| 提要 | 第1-7页 |
| 第一章 TiO_2材料的制作 | 第7-19页 |
| ·论文的研究背景 | 第7-8页 |
| ·TiO_2材料的应用 | 第8-9页 |
| ·TiO_2薄膜的晶体结构 | 第9-11页 |
| ·纳米TiO_2 的性质 | 第11-13页 |
| ·TiO_2材料的制备方法 | 第13-14页 |
| ·TiO_2材料的制作过程 | 第14-16页 |
| ·TiO_2材料的表征 | 第16-19页 |
| ·X-射线衍射分析（XRD） | 第16-17页 |
| ·紫外吸收谱 | 第17-19页 |
| 第二章 紫外探测器的制备 | 第19-27页 |
| ·紫外探测器的分类 | 第19-24页 |
| ·MSM 型光电导探测器的结构和工作原理 | 第24-27页 |
| 第三章 紫外探测器器件的制备 | 第27-33页 |
| ·衬底的清洗 | 第27-28页 |
| ·TiO_2薄膜的制备 | 第28-29页 |
| ·光刻 | 第29-31页 |
| ·光刻技术的介绍 | 第29-30页 |
| ·光刻试验的过程 | 第30-31页 |
| ·溅射 | 第31-32页 |
| ·溅射的过程 | 第31-32页 |
| ·剥离 | 第32-33页 |
| 第四章 紫外探测器的测试 | 第33-49页 |
| ·电压信号检测电路 | 第33-44页 |
| ·紫外探测器的P-V 关系的测试 | 第44-49页 |
| 第五章 结论 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 摘要 | 第54-56页 |
| Abstract | 第56-57页 |
