能量天平的高精度激光干涉位移测量系统研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-16页 |
| ·研究背景 | 第12-13页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·实物基准的概述 | 第12页 |
| ·质量量子基准的提出 | 第12-13页 |
| ·国内外研究的现状 | 第13-14页 |
| ·概述 | 第13页 |
| ·瓦特天平法 | 第13页 |
| ·能量天平法 | 第13-14页 |
| ·课题研究的目的、意义、内容及来源 | 第14-16页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第14页 |
| ·课题研究的内容 | 第14-15页 |
| ·课题的来源 | 第15-16页 |
| 第二章 激光干涉位移测量系统硬件设计 | 第16-25页 |
| ·激光干涉测量法国内外研究 | 第16-18页 |
| ·外差激光干涉法 | 第16-17页 |
| ·零差激光干涉法 | 第17-18页 |
| ·迈克尔逊干涉测量原理 | 第18-19页 |
| ·干涉仪光路结构设计与优化 | 第19-22页 |
| ·光路系统的计算分析 | 第19-21页 |
| ·干涉光路器件的选取与固定 | 第21-22页 |
| ·干涉信号的处理 | 第22-24页 |
| ·前置放大部分 | 第22-23页 |
| ·放大与调理部分 | 第23-24页 |
| ·信号细分技术 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 采集测量系统软件设计 | 第25-31页 |
| ·测量软件简介 | 第25-26页 |
| ·测量软件的工作原理 | 第26页 |
| ·测量软件的实现 | 第26-29页 |
| ·测量软件的特点 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 准直瞄准系统装置的研制 | 第31-42页 |
| ·系统设计的必要性 | 第31页 |
| ·准直瞄准系统 | 第31-37页 |
| ·准直瞄准系统的工作原理 | 第31-32页 |
| ·准直瞄准系统中激光器和探测器的选择 | 第32页 |
| ·准直瞄准系统的电路设计 | 第32-36页 |
| ·电路的调试 | 第36-37页 |
| ·准直瞄准系统的实验及改进 | 第37-41页 |
| ·使用电感测微仪进行瞄准系统实验 | 第37-39页 |
| ·准直瞄准系统的改进 | 第39页 |
| ·使用双频激光干涉仪进行瞄准系统实验 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 激光干涉位移测量系统的实验及系统评价研究 | 第42-58页 |
| ·系统的性能测试实验 | 第42-43页 |
| ·在不同环境条件下零漂测试 | 第42-43页 |
| ·系统的静态漂移分析 | 第43页 |
| ·光电自准仪实验 | 第43-50页 |
| ·导轨偏摆角测量实验 | 第44-47页 |
| ·导轨俯仰角测量实验 | 第47-50页 |
| ·准直瞄准系统在比对实验中的应用 | 第50-53页 |
| ·实验方案概述 | 第50页 |
| ·实验数据处理与分析 | 第50-53页 |
| ·改善激光干涉位移测量系统精度的方法 | 第53-57页 |
| ·系统误差的研究分析 | 第53-56页 |
| ·系统设计要点分析 | 第56-57页 |
| ·纳米实验环境的建立 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 结论与展望 | 第58-60页 |
| ·研究总结 | 第58-59页 |
| ·待研究的工作及工作展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及研究成果 | 第63-64页 |
