微型ICP激发源进样器设计及激发能力测试研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-22页 |
| ·等离子体基本概念 | 第9页 |
| ·等离子体诊断方法 | 第9-10页 |
| ·探针诊断法 | 第9页 |
| ·质谱诊断法 | 第9-10页 |
| ·光谱诊断法 | 第10页 |
| ·微型等离子体光谱仪激发源的研究现状 | 第10-19页 |
| ·国外微型等离子体激发源 | 第10-15页 |
| ·基于MEMS工艺的微型ICP激发源 | 第10-12页 |
| ·微型微波SRR等离子体激发源 | 第12-13页 |
| ·微型直流等离子激发源 | 第13页 |
| ·微型射频电容耦合激发源 | 第13-14页 |
| ·微型空心阴极放电激发源 | 第14页 |
| ·微型介质阻挡放电等离子体激发源 | 第14-15页 |
| ·微型电晕放电等离子体激发源 | 第15页 |
| ·国内微型等离子体激发源 | 第15-19页 |
| ·基于PCB工艺的微型平面ICP激发源 | 第15-16页 |
| ·基于PCB工艺的微型立体ICP激发源 | 第16-18页 |
| ·微带缝环谐振器的微波等离子体源 | 第18页 |
| ·平面微带螺旋天线ICP源 | 第18-19页 |
| ·光谱仪发展现状 | 第19-20页 |
| ·本论文的研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 实验装置 | 第22-28页 |
| ·光谱产生系统 | 第23-26页 |
| ·激发源微电路组件 | 第23-24页 |
| ·真空放电室 | 第24-25页 |
| ·抽真空装置 | 第25页 |
| ·RF射频源 | 第25-26页 |
| ·进气装置 | 第26页 |
| ·光谱检测系统 | 第26-28页 |
| 第3章 微型等离子体激发源进样器设计 | 第28-34页 |
| ·注射器进样装置 | 第28-30页 |
| ·六通阀进样装置 | 第30-32页 |
| ·三通阀混合室进样装置 | 第32-34页 |
| 第4章 微型ICP激发能力测试 | 第34-60页 |
| ·氩气谱线测定 | 第34-36页 |
| ·空气谱线测定 | 第36-38页 |
| ·氩气电子温度和电子激发温度 | 第38-43页 |
| ·氩气电子温度计算 | 第38-39页 |
| ·氩气电子激发温度计算 | 第39-40页 |
| ·入射功率对电子激发温度的影响 | 第40-41页 |
| ·工作气压对电子激发温度的影响 | 第41-43页 |
| ·入射功率对氩气谱线强度影响 | 第43-47页 |
| ·工作气压对氩气谱线强度影响 | 第47-52页 |
| ·氩气和空气的相互影响 | 第52-60页 |
| ·氩气对空气谱线的增强作用 | 第53-56页 |
| ·空气对氩气谱线的减弱作用 | 第56-60页 |
| 第5章 结论与展望 | 第60-63页 |
| ·结论 | 第60-61页 |
| ·有待进一步研究的问题 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 攻读学位期间取得的科研成果 | 第68页 |
