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Nb掺杂及Nb-Al共掺杂氧化锌靶材的制备与性能研究

摘要第3-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第11-25页
    1.1 靶材的概述第11页
    1.2 靶材的分类第11-12页
    1.3 靶材的技术要求第12-13页
    1.4 氧化锌的性质第13-16页
        1.4.1 氧化锌的结构及缺陷第13-14页
        1.4.2 氧化锌的主要性能第14-16页
    1.5 氧化锌靶材制备技术第16-21页
        1.5.1 粉料的制备第16-17页
        1.5.2 团聚粉末的分散第17页
        1.5.3 成形第17-18页
        1.5.4 脱胶第18-19页
        1.5.6 烧结第19-21页
    1.6 氧化锌薄膜制备方法第21-22页
    1.7 本论文研究的意义第22-23页
    1.8 本论文研究内容及创新点第23-25页
        1.8.1 本论文研究的内容第23页
        1.8.2 论文创新点第23-25页
第2章 材料的制备技术及表征方法概述第25-35页
    2.1 靶材的制备技术第25-27页
        2.1.1 实验原料第25页
        2.1.2 靶材制备工艺流程第25-27页
    2.2 制备薄膜的步骤第27-29页
    2.3 实验设备第29-30页
    2.4 测试表征方法第30-35页
        2.4.1 热重分析第30页
        2.4.2 X射线荧光光谱分析第30页
        2.4.3 粉末粒度分析第30-31页
        2.4.4 X射线衍射分析第31页
        2.4.5 抗弯强度测试第31页
        2.4.6 线收缩率第31-32页
        2.4.7 质量烧损率第32页
        2.4.8 密度测试第32页
        2.4.9 SEM微观形貌分析第32-33页
        2.4.10 靶材电阻率测试第33页
        2.4.11 薄膜电学性能测试第33页
        2.4.12 薄膜厚度测试第33页
        2.4.13 薄膜透光率测试第33页
        2.4.14 薄膜粗糙度测试第33-35页
第3章 Nb_2O_5掺杂ZnO靶材的制备和性能表征第35-59页
    3.1 混料的制备及表征第35-36页
    3.2 成型第36页
    3.3 生坯脱胶第36-38页
    3.4 烧结温度对NZO靶材性能的影响第38-46页
        3.4.1 烧结温度对NZO靶材致密化的影响第38-39页
        3.4.2 烧结温度对NZO靶材微观形貌的影响第39-41页
        3.4.3 烧结温度对NZO靶材力学性能的影响第41-43页
        3.4.4 烧结温度对NZO靶材物相的影响第43-44页
        3.4.5 烧结温度对NZO靶材电阻率的影响第44-46页
    3.5 掺杂量对NZO靶材性能的影响第46-51页
        3.5.1 Nb_2O_5掺杂量对NZO靶材物相的影响第46-47页
        3.5.2 Nb_2O_5掺杂量对靶材致密化的影响第47-48页
        3.5.3 Nb_2O_5掺杂量对靶材微观形貌的影响第48-49页
        3.5.4 Nb_2O_5掺杂量对NZO靶材力学性能的影响第49-50页
        3.5.5 Nb_2O_5掺杂量对NZO靶材电阻率的影响第50-51页
    3.6 烧结气氛对NZO靶材性能的影响第51-54页
        3.6.1 烧结气氛对NZO靶材相对密度的影响第51-52页
        3.6.2 烧结气氛对NZO靶材力学性能的影响第52-53页
        3.6.3 烧结气氛对NZO靶材电阻率的影响第53-54页
    3.7 NZO薄膜的初步制备与表征第54-57页
        3.7.1 NZO薄膜XRD分析第55-56页
        3.7.2 NZO薄膜透光率及表面粗糙度表征第56-57页
        3.7.3 NZO薄膜电学性能表征第57页
    3.8 本章小结第57-59页
第4章 Nb-Al共掺杂ZnO靶材的制备和性能表征第59-75页
    4.1 烧结温度对NAZO靶材性能的影响第59-63页
        4.1.1 烧结温度对NAZO靶材致密化的影响第59-60页
        4.1.2 烧结温度对NAZO靶材微观形貌的影响第60-61页
        4.1.3 烧结温度对NAZO靶材力学性能的影响第61-62页
        4.1.4 烧结温度对靶材电阻率的影响第62-63页
    4.2 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材性能的影响第63-68页
        4.2.1 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材物相的影响第63-64页
        4.2.2 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材致密化的影响第64-65页
        4.2.3 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材微观形貌的影响第65-66页
        4.2.4 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材力学性能的影响第66-67页
        4.2.5 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材电阻率的影响第67-68页
    4.3 烧结气氛对NAZO靶材性能的影响第68-71页
        4.3.1 烧结气氛对NAZO靶材相对密度的影响第68-69页
        4.3.2 烧结气氛对NAZO靶材力学性能的影响第69-70页
        4.3.3 烧结气氛对NAZO靶材电阻率的影响第70-71页
    4.4 NAZO薄膜的初步制备与表征第71-74页
        4.4.1 NAZO薄膜XRD表征分析第71-72页
        4.4.2 NAZO薄膜透光率及表面粗糙度表征第72-74页
        4.4.3 NAZO薄膜电学性能表征第74页
    4.5 本章小结第74-75页
第5章 结论与展望第75-77页
    5.1 结论第75-76页
    5.2 展望第76-77页
参考文献第77-83页
致谢第83-84页
攻读硕士期间的研究成果第84页

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