| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 靶材的概述 | 第11页 |
| 1.2 靶材的分类 | 第11-12页 |
| 1.3 靶材的技术要求 | 第12-13页 |
| 1.4 氧化锌的性质 | 第13-16页 |
| 1.4.1 氧化锌的结构及缺陷 | 第13-14页 |
| 1.4.2 氧化锌的主要性能 | 第14-16页 |
| 1.5 氧化锌靶材制备技术 | 第16-21页 |
| 1.5.1 粉料的制备 | 第16-17页 |
| 1.5.2 团聚粉末的分散 | 第17页 |
| 1.5.3 成形 | 第17-18页 |
| 1.5.4 脱胶 | 第18-19页 |
| 1.5.6 烧结 | 第19-21页 |
| 1.6 氧化锌薄膜制备方法 | 第21-22页 |
| 1.7 本论文研究的意义 | 第22-23页 |
| 1.8 本论文研究内容及创新点 | 第23-25页 |
| 1.8.1 本论文研究的内容 | 第23页 |
| 1.8.2 论文创新点 | 第23-25页 |
| 第2章 材料的制备技术及表征方法概述 | 第25-35页 |
| 2.1 靶材的制备技术 | 第25-27页 |
| 2.1.1 实验原料 | 第25页 |
| 2.1.2 靶材制备工艺流程 | 第25-27页 |
| 2.2 制备薄膜的步骤 | 第27-29页 |
| 2.3 实验设备 | 第29-30页 |
| 2.4 测试表征方法 | 第30-35页 |
| 2.4.1 热重分析 | 第30页 |
| 2.4.2 X射线荧光光谱分析 | 第30页 |
| 2.4.3 粉末粒度分析 | 第30-31页 |
| 2.4.4 X射线衍射分析 | 第31页 |
| 2.4.5 抗弯强度测试 | 第31页 |
| 2.4.6 线收缩率 | 第31-32页 |
| 2.4.7 质量烧损率 | 第32页 |
| 2.4.8 密度测试 | 第32页 |
| 2.4.9 SEM微观形貌分析 | 第32-33页 |
| 2.4.10 靶材电阻率测试 | 第33页 |
| 2.4.11 薄膜电学性能测试 | 第33页 |
| 2.4.12 薄膜厚度测试 | 第33页 |
| 2.4.13 薄膜透光率测试 | 第33页 |
| 2.4.14 薄膜粗糙度测试 | 第33-35页 |
| 第3章 Nb_2O_5掺杂ZnO靶材的制备和性能表征 | 第35-59页 |
| 3.1 混料的制备及表征 | 第35-36页 |
| 3.2 成型 | 第36页 |
| 3.3 生坯脱胶 | 第36-38页 |
| 3.4 烧结温度对NZO靶材性能的影响 | 第38-46页 |
| 3.4.1 烧结温度对NZO靶材致密化的影响 | 第38-39页 |
| 3.4.2 烧结温度对NZO靶材微观形貌的影响 | 第39-41页 |
| 3.4.3 烧结温度对NZO靶材力学性能的影响 | 第41-43页 |
| 3.4.4 烧结温度对NZO靶材物相的影响 | 第43-44页 |
| 3.4.5 烧结温度对NZO靶材电阻率的影响 | 第44-46页 |
| 3.5 掺杂量对NZO靶材性能的影响 | 第46-51页 |
| 3.5.1 Nb_2O_5掺杂量对NZO靶材物相的影响 | 第46-47页 |
| 3.5.2 Nb_2O_5掺杂量对靶材致密化的影响 | 第47-48页 |
| 3.5.3 Nb_2O_5掺杂量对靶材微观形貌的影响 | 第48-49页 |
| 3.5.4 Nb_2O_5掺杂量对NZO靶材力学性能的影响 | 第49-50页 |
| 3.5.5 Nb_2O_5掺杂量对NZO靶材电阻率的影响 | 第50-51页 |
| 3.6 烧结气氛对NZO靶材性能的影响 | 第51-54页 |
| 3.6.1 烧结气氛对NZO靶材相对密度的影响 | 第51-52页 |
| 3.6.2 烧结气氛对NZO靶材力学性能的影响 | 第52-53页 |
| 3.6.3 烧结气氛对NZO靶材电阻率的影响 | 第53-54页 |
| 3.7 NZO薄膜的初步制备与表征 | 第54-57页 |
| 3.7.1 NZO薄膜XRD分析 | 第55-56页 |
| 3.7.2 NZO薄膜透光率及表面粗糙度表征 | 第56-57页 |
| 3.7.3 NZO薄膜电学性能表征 | 第57页 |
| 3.8 本章小结 | 第57-59页 |
| 第4章 Nb-Al共掺杂ZnO靶材的制备和性能表征 | 第59-75页 |
| 4.1 烧结温度对NAZO靶材性能的影响 | 第59-63页 |
| 4.1.1 烧结温度对NAZO靶材致密化的影响 | 第59-60页 |
| 4.1.2 烧结温度对NAZO靶材微观形貌的影响 | 第60-61页 |
| 4.1.3 烧结温度对NAZO靶材力学性能的影响 | 第61-62页 |
| 4.1.4 烧结温度对靶材电阻率的影响 | 第62-63页 |
| 4.2 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材性能的影响 | 第63-68页 |
| 4.2.1 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材物相的影响 | 第63-64页 |
| 4.2.2 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材致密化的影响 | 第64-65页 |
| 4.2.3 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材微观形貌的影响 | 第65-66页 |
| 4.2.4 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材力学性能的影响 | 第66-67页 |
| 4.2.5 Al_2O_3掺杂量对NZO靶材电阻率的影响 | 第67-68页 |
| 4.3 烧结气氛对NAZO靶材性能的影响 | 第68-71页 |
| 4.3.1 烧结气氛对NAZO靶材相对密度的影响 | 第68-69页 |
| 4.3.2 烧结气氛对NAZO靶材力学性能的影响 | 第69-70页 |
| 4.3.3 烧结气氛对NAZO靶材电阻率的影响 | 第70-71页 |
| 4.4 NAZO薄膜的初步制备与表征 | 第71-74页 |
| 4.4.1 NAZO薄膜XRD表征分析 | 第71-72页 |
| 4.4.2 NAZO薄膜透光率及表面粗糙度表征 | 第72-74页 |
| 4.4.3 NAZO薄膜电学性能表征 | 第74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 结论与展望 | 第75-77页 |
| 5.1 结论 | 第75-76页 |
| 5.2 展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第84页 |
