| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-12页 |
| 1.2 中和器的研究进展 | 第12-13页 |
| 1.3 场发射中和器 | 第13页 |
| 1.4 场发射阴极材料的发展 | 第13-18页 |
| 1.4.1 场发射阴极材料的发展 | 第13-14页 |
| 1.4.2 碳纳米管冷阴极材料 | 第14-17页 |
| 1.4.3 碳纳米管冷阴极材料制备 | 第17-18页 |
| 1.5 离子轰击对真空器件的影响 | 第18-19页 |
| 1.6 选题意义及课题主要工作 | 第19-22页 |
| 第二章 场发射机理与离子轰击理论 | 第22-30页 |
| 2.1 场发射理论基础 | 第22-25页 |
| 2.1.1 电子发射的原理 | 第22-24页 |
| 2.1.2 场发射Flower-Nordheim理论 | 第24-25页 |
| 2.2 电子碰撞气体电离原理 | 第25-27页 |
| 2.3 离子溅射的基本理论 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 碳纳米管场发射电子源的设计与研究 | 第30-42页 |
| 3.1 场致发射性能测试 | 第30-36页 |
| 3.1.1 碳纳米管二极结构发射特性 | 第30-32页 |
| 3.1.2 场致发射大电流(直流)测试 | 第32-34页 |
| 3.1.3 场致发射大电流(脉冲)测试 | 第34-36页 |
| 3.2 场发射三极结构栅网透过率研究 | 第36-39页 |
| 3.2.1 方形栅网透过率的仿真研究 | 第37-38页 |
| 3.2.2 实验测试及结果分析 | 第38-39页 |
| 3.3 场发射三极结构阵列栅网透过率仿真研究 | 第39-41页 |
| 3.3.1 场发射阵列栅网透过率模拟计算 | 第39-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 降低场致发射栅网截获率的实验研究 | 第42-54页 |
| 4.1 场致发射双栅结构设计 | 第42-46页 |
| 4.1.1 双栅结构影响因素 | 第42-44页 |
| 4.1.2 双栅结构降低栅网截获率测试 | 第44-46页 |
| 4.2 场发射侧阴极结构的设计及优化 | 第46-52页 |
| 4.2.1 侧阴极结构设计 | 第48-49页 |
| 4.2.2 阴极角度对场发射性能的影响 | 第49-50页 |
| 4.2.3 侧阴极结构设计及实验测试 | 第50-52页 |
| 4.3 场致发射双栅结构与侧阴极结构对比 | 第52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 场发射三极结构下减弱离子轰击的研究 | 第54-68页 |
| 5.1 离子轰击阴极的研究 | 第54-56页 |
| 5.2 屏蔽极结构对离子轰击的作用的研究 | 第56-60页 |
| 5.3 减弱离子轰击测试 | 第60-66页 |
| 5.3.1 增加屏蔽极阴极电流变化及其稳定性测试 | 第60-64页 |
| 5.3.2 充入CO_2气体屏蔽极屏蔽效果的测试 | 第64-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-72页 |
| 6.1 总结 | 第68-69页 |
| 6.2 展望 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 作者简介 | 第78页 |