TiN、Ti-W-N及Ti-W-V-N薄膜的微结构及力学与摩擦学性能研究
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-22页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 固态润滑薄膜的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 薄膜的制备方法 | 第16-17页 |
| 1.4 纳米复合膜 | 第17-19页 |
| 1.4.1 纳米复合膜概述 | 第17-18页 |
| 1.4.2 纳米复合膜的硬度强化机制 | 第18-19页 |
| 1.5 薄膜的生长方式 | 第19-20页 |
| 1.6 选题意义与研究内容 | 第20-22页 |
| 1.6.1 选题意义 | 第20-21页 |
| 1.6.2 研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征方法 | 第22-27页 |
| 2.1 薄膜的制备方法 | 第22-23页 |
| 2.1.1 磁控溅射镀膜的原理 | 第22-23页 |
| 2.1.2 薄膜的制备设备 | 第23页 |
| 2.2 薄膜的衬底材料 | 第23-24页 |
| 2.3 薄膜的表征设备 | 第24-27页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD) | 第24页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第24页 |
| 2.3.3 能量色散谱仪(EDS) | 第24-25页 |
| 2.3.4 透射电子显微镜(TEM) | 第25页 |
| 2.3.5 纳米力学综合测试系统 | 第25-26页 |
| 2.3.6 摩擦磨损试验机 | 第26页 |
| 2.3.7 表面轮廓仪 | 第26页 |
| 2.3.8 激光共聚焦扫描显微镜(LSCM) | 第26-27页 |
| 第3章 TiN薄膜的制备及性能研究 | 第27-44页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 TiN薄膜的制备与表征 | 第27-29页 |
| 3.2.1 TiN薄膜的制备 | 第27-28页 |
| 3.2.2 TiN薄膜的表征 | 第28-29页 |
| 3.3 实验结果与讨论 | 第29-43页 |
| 3.3.1 TiN薄膜的成分与微结构 | 第29-31页 |
| 3.3.2 TiN薄膜的相形成能计算 | 第31-34页 |
| 3.3.3 TiN薄膜的硬度 | 第34-36页 |
| 3.3.4 TiN薄膜的室温摩擦磨损性能 | 第36-39页 |
| 3.3.5 TiN薄膜的高温摩擦磨损性能 | 第39-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 Ti-W-N薄膜的制备及性能研究 | 第44-62页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 Ti-W-N薄膜的制备与表征 | 第44-46页 |
| 4.2.1 Ti-W-N薄膜的制备 | 第44-45页 |
| 4.2.2 Ti-W-N薄膜的表征 | 第45-46页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第46-60页 |
| 4.3.1 Ti-W-N薄膜的成分与微结构 | 第46-50页 |
| 4.3.2 Ti-W-N薄膜的缺陷形成能 | 第50-53页 |
| 4.3.3 Ti-W-N薄膜的力学性能 | 第53-56页 |
| 4.3.4 Ti-W-N薄膜的膜基结合力 | 第56-58页 |
| 4.3.5 Ti-W-N薄膜的摩擦磨损性能 | 第58-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 第5章 Ti-W-V-N薄膜的制备及性能研究 | 第62-75页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 Ti-W-V-N薄膜的制备与表征 | 第62-64页 |
| 5.2.1 Ti-W-V-N薄膜的制备 | 第62-63页 |
| 5.2.2 Ti-W-V-N薄膜的表征 | 第63-64页 |
| 5.3 实验结果与讨论 | 第64-73页 |
| 5.3.1 Ti-W-V-N薄膜的成分与微结构 | 第64-68页 |
| 5.3.2 Ti-W-V-N薄膜的力学性能 | 第68-70页 |
| 5.3.3 Ti-W-V-N薄膜高温摩擦磨损性能 | 第70-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-75页 |
| 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-85页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
