基于SPR技术的TiO2薄膜甲醛气敏特性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 气敏传感器的发展 | 第11-12页 |
| 1.3 表面等离子体共振技术的发展 | 第12-14页 |
| 1.4 研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 基本理论 | 第15-28页 |
| 2.1 传感器基本理论 | 第15-16页 |
| 2.2 气敏传感器的分类及结构 | 第16-18页 |
| 2.2.1 半导体式气敏传感器 | 第16-17页 |
| 2.2.2 电化学式气敏传感器 | 第17页 |
| 2.2.3 接触燃烧式气敏传感器 | 第17-18页 |
| 2.3 表面等离子体共振(SPR)原理 | 第18-26页 |
| 2.3.1 SPR基本理论 | 第18-21页 |
| 2.3.2 SPR传感器的结构类型 | 第21-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 基于SPR技术的银纳米薄膜腐蚀过程研究 | 第28-41页 |
| 3.1 样品制备 | 第28-31页 |
| 3.2 有效介质理论 | 第31-33页 |
| 3.3 测试结果与分析 | 第33-40页 |
| 3.3.1 样品表征 | 第33-35页 |
| 3.3.2 SPR测试 | 第35-37页 |
| 3.3.3 结果分析 | 第37-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 Ag/TiO2薄膜的甲醛气敏特性测试 | 第41-58页 |
| 4.1 TiO2薄膜的气敏特性 | 第41-42页 |
| 4.2 Ag/TiO2复合薄膜的SPR仿真分析 | 第42-46页 |
| 4.3 样品制备及测试 | 第46-56页 |
| 4.3.1 样品制备 | 第46-50页 |
| 4.3.2 测试结果分析与讨论 | 第50-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
