| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-24页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 课题背景和研究意义 | 第13-16页 |
| 1.2.1 太赫兹技术的背景 | 第13-14页 |
| 1.2.2 太赫兹探测技术的发展 | 第14-16页 |
| 1.2.2.1 太赫兹探测器的分类 | 第14-15页 |
| 1.2.2.2 红外微测辐射热计 | 第15-16页 |
| 1.3 太赫兹微测辐射热计的发展现状 | 第16-21页 |
| 1.3.1 常见太赫兹吸波材料 | 第17-19页 |
| 1.3.2 太赫兹超材料吸波器 | 第19-21页 |
| 1.4 太赫兹超材料滤波器的发展现状 | 第21-22页 |
| 1.5 本论文的选题和研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 太赫兹超材料的理论基础和研究方法 | 第24-35页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 电磁波在超材料中的传播特性 | 第24-27页 |
| 2.2.1 超材料吸波器的原理 | 第26页 |
| 2.2.2 超材料滤波器的原理 | 第26-27页 |
| 2.3 超材料的基本结构 | 第27-28页 |
| 2.3.1 实现负介电常数结构 | 第27-28页 |
| 2.3.2 实现负磁导率结构 | 第28页 |
| 2.4 超材料的数值计算方法 | 第28-32页 |
| 2.4.1 时域有限差分法(FDTD) | 第29-30页 |
| 2.4.2 有限元法(FEM) | 第30页 |
| 2.4.3 软件辅助电磁仿真方法 | 第30-31页 |
| 2.4.4 反演法 | 第31-32页 |
| 2.5 制备和测试方法 | 第32-34页 |
| 2.5.1 等离子体增强化学气相沉积(PECVD) | 第32-33页 |
| 2.5.2 电子束蒸发 | 第33页 |
| 2.5.3 光刻 | 第33页 |
| 2.5.4 刻蚀 | 第33-34页 |
| 2.5.5 扫描电子显微镜(SEM) | 第34页 |
| 2.5.6 傅里叶转换红外线光谱分析仪(FTIR) | 第34页 |
| 2.5.7 太赫兹时域光谱仪(THz-TDS) | 第34页 |
| 2.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 eSRRs太赫兹超材料吸波器的调控机制分析 | 第35-46页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 eSRRs超材料吸波器的仿真研究 | 第35-39页 |
| 3.2.1 eSRRs吸波器在太赫兹波段的响应特性 | 第35-37页 |
| 3.2.2 共振机制分析 | 第37-39页 |
| 3.3 表层金属图形对eSRRs吸波器的调控作用 | 第39-40页 |
| 3.4 介质层对eSRRs吸波器的调控作用 | 第40-45页 |
| 3.4.1 介质层厚度对响应特性的影响 | 第40-41页 |
| 3.4.2 介质层介电常数对响应特性的影响 | 第41-45页 |
| 3.4.2.1 频率方程 | 第42-44页 |
| 3.4.2.2 损耗角正切值对响应特性的影响 | 第44-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 基于矩形超材料吸波器的太赫兹微测辐射热计 | 第46-65页 |
| 4.1 引言 | 第46-47页 |
| 4.2 微测辐射热计微桥结构的性能指标 | 第47-49页 |
| 4.2.1 光学性能 | 第47页 |
| 4.2.2 热学性能 | 第47-48页 |
| 4.2.3 力学性能 | 第48-49页 |
| 4.3 基于矩形超材料吸波器的太赫兹微桥的设计与仿真研究 | 第49-60页 |
| 4.3.1 太赫兹微桥的设计 | 第49-51页 |
| 4.3.2 太赫兹微桥模型 | 第51-52页 |
| 4.3.3 太赫兹微桥的光学仿真 | 第52-55页 |
| 4.3.4 太赫兹微桥的热学仿真 | 第55-57页 |
| 4.3.5 太赫兹微桥的力学仿真 | 第57-60页 |
| 4.4 太赫兹微测辐射热计微桥结构的制备与测试 | 第60-63页 |
| 4.4.1 制备工艺 | 第60-62页 |
| 4.4.2 测试结果 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 镂空渔网状太赫兹超材料滤波器 | 第65-76页 |
| 5.1 引言 | 第65页 |
| 5.2 单层镂空渔网状超材料滤波器的制备与测试 | 第65-68页 |
| 5.2.1 制备工艺 | 第66-67页 |
| 5.2.2 测试结果 | 第67-68页 |
| 5.3 单层镂空渔网状超材料滤波器的仿真研究 | 第68-74页 |
| 5.3.1 单层渔网状超材料滤波器的磁共振研究 | 第71-73页 |
| 5.3.2 单层渔网状超材料滤波器的电共振研究 | 第73-74页 |
| 5.4 多层渔网状超材料滤波器在太赫兹波段的响应特性 | 第74-75页 |
| 5.5 本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 基于TiO_2全介质超材料的可调Fabry-Perot滤波器 | 第76-85页 |
| 6.1 引言 | 第76-77页 |
| 6.2 TiO_2全介质超材料在太赫兹波段的响应特性 | 第77-81页 |
| 6.2.1 TiO_2柱体高度对响应特性的影响 | 第79-80页 |
| 6.2.2 TiO_2柱体直径对响应特性的影响 | 第80-81页 |
| 6.3 基于TiO_2全介质超材料的Fabry-Perot滤波器的设计与仿真研究 | 第81-84页 |
| 6.3.1 Fabry-Perot滤波器的设计 | 第81-82页 |
| 6.3.2 Fabry-Perot滤波器在太赫兹波段的响应特性 | 第82-84页 |
| 6.4 本章小结 | 第84-85页 |
| 第七章 总结与展望 | 第85-88页 |
| 7.1 本论文的主要结论 | 第85-86页 |
| 7.2 本论文的创新点 | 第86页 |
| 7.3 工作展望 | 第86-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-102页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第102-103页 |
