参数激励法提高MEMS环式陀螺性能的研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第9-12页 |
| 1.1.1 MEMS概述 | 第9-10页 |
| 1.1.2 MEMS陀螺特点与研究意义 | 第10-12页 |
| 1.2 MEMS陀螺研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 MEMS陀螺国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.2 高精度MEMS陀螺的研究 | 第16-17页 |
| 1.3 论文结构安排 | 第17-19页 |
| 第二章 MEMS环式陀螺的基本理论 | 第19-33页 |
| 2.1 静电驱动 | 第19-24页 |
| 2.1.1 叉齿驱动 | 第19-20页 |
| 2.1.2 偏置梳齿驱动 | 第20-22页 |
| 2.1.3 平行板驱动 | 第22-24页 |
| 2.2 科氏效应与傅科摆 | 第24-26页 |
| 2.3 MEMS振动陀螺工作原理 | 第26-30页 |
| 2.4 检测机制 | 第30-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 MEMS陀螺误差特性研究 | 第33-42页 |
| 3.1 空气阻尼 | 第33-34页 |
| 3.2 同频干扰误差分析 | 第34-41页 |
| 3.2.1 不等弹性 | 第34-37页 |
| 3.2.2 阻尼不对称性 | 第37-38页 |
| 3.2.3 结合误差的动力学方程 | 第38-39页 |
| 3.2.4 电馈通效应 | 第39-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 参数激励与参数放大 | 第42-52页 |
| 4.1 陀螺结构模型 | 第42-43页 |
| 4.2 参数激励法 | 第43-45页 |
| 4.3 参数放大结果分析 | 第45-51页 |
| 4.3.1 软化效应 | 第46-47页 |
| 4.3.2 频率响应 | 第47-49页 |
| 4.3.3 放大增益 | 第49-50页 |
| 4.3.4 品质因子 | 第50-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 MEMS环式陀螺系统建模 | 第52-59页 |
| 5.1 控制电路 | 第52-53页 |
| 5.2 Simulink建模 | 第53-55页 |
| 5.3 仿真结果分析 | 第55-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 总结 | 第59-60页 |
| 6.2 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
