| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 薄膜生长工艺 | 第10-11页 |
| 1.2 层层生长工艺 | 第11-13页 |
| 1.2.1 原子层气相沉积 | 第11-12页 |
| 1.2.2 原子层液相沉积 | 第12页 |
| 1.2.3 电沉积工艺 | 第12-13页 |
| 1.3 层层生长电极材料特性 | 第13-14页 |
| 1.4 沉积仪发展现状 | 第14-15页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 自动层层电沉积仪原理分析 | 第17-22页 |
| 2.1 液相原子层生长原理 | 第17-19页 |
| 2.1.1 技术简介 | 第17页 |
| 2.1.2 影响因素 | 第17-18页 |
| 2.1.3 层层生长原理 | 第18-19页 |
| 2.2 控制装置(单片机)原理 | 第19页 |
| 2.3 制动装置(步进电机)原理 | 第19-20页 |
| 2.4 电源系统 | 第20-22页 |
| 第三章 自动层层电沉积仪的系统设计 | 第22-47页 |
| 3.1 整体设计方案 | 第22-33页 |
| 3.1.1 垂直提拉模块 | 第23-29页 |
| 3.1.2 可旋转圆盘模块 | 第29-33页 |
| 3.1.2.1 可固定反应容器的旋转式操作圆盘模块 | 第29-32页 |
| 3.1.2.2 磁石式操作模块 | 第32-33页 |
| 3.2 自动层层电沉积仪的硬件电路设计 | 第33-41页 |
| 3.2.1 单片机控制系统电路设计 | 第33-37页 |
| 3.2.2 步进电机驱动系统的电路设计 | 第37-41页 |
| 3.3 自动层层电沉积仪的软件设计 | 第41-47页 |
| 3.3.1 开发环境 | 第41页 |
| 3.3.2 系统主程序设计 | 第41-42页 |
| 3.3.3 系统应用程序设计 | 第42-47页 |
| 第四章 装置的应用测试 | 第47-55页 |
| 4.1 沉积仪的提拉模块运行精度测试 | 第47页 |
| 4.2 应用沉积仪进行沉积测试 | 第47-49页 |
| 4.3 应用沉积仪进行精度测试 | 第49-50页 |
| 4.4 应用沉积仪进行层层生长测试 | 第50-53页 |
| 4.5 应用沉积仪进行安全性能测试 | 第53-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 作者简介及科研成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |