首页--工业技术论文--化学工业论文--电化学工业论文--一般性问题论文--机械与设备论文

自动层层生长电沉积仪的研制

摘要第4-6页
abstract第6-7页
第一章 绪论第10-17页
    1.1 薄膜生长工艺第10-11页
    1.2 层层生长工艺第11-13页
        1.2.1 原子层气相沉积第11-12页
        1.2.2 原子层液相沉积第12页
        1.2.3 电沉积工艺第12-13页
    1.3 层层生长电极材料特性第13-14页
    1.4 沉积仪发展现状第14-15页
    1.5 本文研究内容第15-17页
第二章 自动层层电沉积仪原理分析第17-22页
    2.1 液相原子层生长原理第17-19页
        2.1.1 技术简介第17页
        2.1.2 影响因素第17-18页
        2.1.3 层层生长原理第18-19页
    2.2 控制装置(单片机)原理第19页
    2.3 制动装置(步进电机)原理第19-20页
    2.4 电源系统第20-22页
第三章 自动层层电沉积仪的系统设计第22-47页
    3.1 整体设计方案第22-33页
        3.1.1 垂直提拉模块第23-29页
        3.1.2 可旋转圆盘模块第29-33页
            3.1.2.1 可固定反应容器的旋转式操作圆盘模块第29-32页
            3.1.2.2 磁石式操作模块第32-33页
    3.2 自动层层电沉积仪的硬件电路设计第33-41页
        3.2.1 单片机控制系统电路设计第33-37页
        3.2.2 步进电机驱动系统的电路设计第37-41页
    3.3 自动层层电沉积仪的软件设计第41-47页
        3.3.1 开发环境第41页
        3.3.2 系统主程序设计第41-42页
        3.3.3 系统应用程序设计第42-47页
第四章 装置的应用测试第47-55页
    4.1 沉积仪的提拉模块运行精度测试第47页
    4.2 应用沉积仪进行沉积测试第47-49页
    4.3 应用沉积仪进行精度测试第49-50页
    4.4 应用沉积仪进行层层生长测试第50-53页
    4.5 应用沉积仪进行安全性能测试第53-55页
第五章 总结与展望第55-57页
参考文献第57-60页
作者简介及科研成果第60-61页
致谢第61页

论文共61页,点击 下载论文
上一篇:永磁同步电机参数辨识及其解耦控制研究
下一篇:降低LED水下集鱼灯结温方法的研究