| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第7-18页 |
| 1.1 硅基发光器件简介 | 第7-8页 |
| 1.2 硅基 III-V 族混合集成激光器 | 第8-17页 |
| 1.3 本论文的主要内容及创新点 | 第17-18页 |
| 2 硅基 III-V 族混合集成激光器的理论设计 | 第18-32页 |
| 2.1 基于游标效应波长可选择的硅基 III-V 族混合集成激光器 | 第18-23页 |
| 2.2 用于 CWDM 的四波长硅基 III-V 族混合集成激光器 | 第23-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 BCB 键合工艺研究 | 第32-41页 |
| 3.1 BCB 键合理论 | 第32-33页 |
| 3.2 键合工艺的基本流程 | 第33-35页 |
| 3.3 键合实验结果及分析 | 第35-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 总结 | 第41-42页 |
| 致谢 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-47页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第47页 |