| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-12页 |
| ·课题研究背景、目的及意义 | 第9-10页 |
| ·论文的主要内容 | 第10-12页 |
| 第2章 红外测温及MEMS热电堆理论知识和技术 | 第12-20页 |
| ·红外技术及红外探测器 | 第12-16页 |
| ·红外测温的原理 | 第12-15页 |
| ·红外探测器的发展及分类 | 第15-16页 |
| ·MEMS热电堆传感器 | 第16-19页 |
| ·MEMS热电堆结构 | 第16-17页 |
| ·MEMS热电堆红外传感器的应用 | 第17-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 MEMS热电堆表面高温测试系统 | 第20-35页 |
| ·A2TPMI334L5.5 OAA300热电堆传感器及静动态测试 | 第21-29页 |
| ·A2TPMI334L5.5 OAA300热电堆传感器结构 | 第21-22页 |
| ·工作原理及使用方法 | 第22-23页 |
| ·A2TPMI334L5.5 OAA300热电堆传感器静、动态性能测试 | 第23-29页 |
| ·系统各部分选材 | 第29-34页 |
| ·靶体 | 第29-30页 |
| ·衰减片 | 第30-31页 |
| ·硫氧化玻璃 | 第31-32页 |
| ·隔热填充材料 | 第32-33页 |
| ·屏蔽箱 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 单晶红外衰减材料的衰减规律研究 | 第35-53页 |
| ·红外光学材料 | 第35-37页 |
| ·晶体材料 | 第35-36页 |
| ·玻璃态材料 | 第36页 |
| ·塑料 | 第36-37页 |
| ·氧化锆简介 | 第37-39页 |
| ·单晶氧化锆陶瓷结构及红外特性 | 第37-38页 |
| ·氧化锆陶瓷的应用和展望 | 第38-39页 |
| ·单晶氧化锆红外衰减特性研究 | 第39-52页 |
| ·衰减模型和衰减系数计算方法 | 第40-41页 |
| ·MEMS热电堆实验测试及数据分析 | 第41-49页 |
| ·实验验证 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 高温测试系统的存储模块 | 第53-63页 |
| ·存储测试的国内外现状 | 第53-54页 |
| ·存储模块硬件电路设计及逻辑控制 | 第54-60页 |
| ·硬件电路 | 第54-57页 |
| ·逻辑控制 | 第57-60页 |
| ·存储模块实测数据 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 结论 | 第63-65页 |
| ·结论 | 第63-64页 |
| ·创新点 | 第64页 |
| ·展望进一步需要进行的工作 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
