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TiN涂层和TiAlN涂层结合强度及抗氧化性能的研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第10-24页
    1.1 研究背景第10页
    1.2 涂层刀具的发展概况第10-12页
    1.3 涂层的制备方法第12-16页
        1.3.1 化学气相沉积技术第12-13页
        1.3.2 物理气相沉积技术第13-16页
    1.4 物理气象沉积(PVD)涂层的发展及趋势第16-21页
        1.4.1 第一代PVD涂层第16页
        1.4.2 第二代PVD涂层第16-21页
    1.5 涂层性能的研究及方法第21-23页
        1.5.1 结合性能第21-22页
        1.5.2 摩擦性能第22页
        1.5.3 氧化性能第22-23页
    1.6 本文的研究内容、目的及意义第23-24页
第二章 涂层的制备和表征方法第24-29页
    2.1 样品预处理第24页
    2.2 TiN涂层和TiAlN涂层的制备第24页
    2.3 组织成分分析第24-25页
        2.3.1 扫描电子显微镜(SEM)第24-25页
        2.3.2 能谱分析(EDS)第25页
    2.4 X射线衍射(XRD)第25页
    2.5 涂层硬度的测量第25-26页
    2.6 涂层结合强度的测量第26-27页
        2.6.1 压痕实验第26页
        2.6.2 划痕实验第26-27页
    2.7 摩擦实验第27页
    2.8 抗氧化性能评价第27-29页
第三章 涂层的膜基结合强度与耐磨性能的研究第29-46页
    3.1 压痕实验结果及分析第29-30页
    3.2 划痕实验的应力分布第30-31页
    3.3 划痕实验的失效形式第31-34页
        3.3.1 涂层的断裂第31-32页
        3.3.2 涂层的剥落第32-34页
        3.3.3 内聚力失效第34页
    3.4 划痕实验结果及分析第34-42页
        3.4.1 TiAlN涂层和TiN涂层的划痕实验第35-38页
        3.4.2 曲率半径50μm压头的划痕实验第38-41页
        3.4.3 恒载荷划痕实验第41页
        3.4.4 多道次划痕试验第41-42页
    3.5 摩擦实验结果及分析第42-44页
    3.6 本章小结第44-46页
第四章 TiAlN涂层和TiN涂层抗氧化性能的研究第46-54页
    4.1 涂层的结构第46-49页
        4.1.1 小角X射线衍射技术的应用原理第46-47页
        4.1.2 涂层的物相(XRD)分析第47-48页
        4.1.3 涂层的微观形貌分析第48-49页
    4.2 TiN涂层的高温氧化性能分析第49-50页
    4.3 TiAlN涂层的高温氧化性能分析第50-52页
    4.4 TiN和TiAlN涂层氧化实验结果讨论第52-53页
    4.5 本章小结第53-54页
第五章 结论第54-55页
参考文献第55-60页
攻读学位期间主要的研究成果第60-61页
致谢第61页

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