| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 课题研究目的及意义 | 第11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 参考面标定的国内外现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 平面装夹方式的现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第15页 |
| 1.4 论文章节安排 | 第15-17页 |
| 2 平面干涉参考面标定基本理论 | 第17-27页 |
| 2.1 参考面标定理论 | 第17-22页 |
| 2.1.1 传统的平面标定原理 | 第17-19页 |
| 2.1.2 改进的平面标定原理 | 第19-22页 |
| 2.2 移相干涉技术理论 | 第22-26页 |
| 2.2.1 移相干涉技术基本原理 | 第22-23页 |
| 2.2.2 移相干涉检测方法 | 第23-25页 |
| 2.2.3 相移解包原理 | 第25-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 高精度参考面标定方法仿真 | 第27-35页 |
| 3.1 传统平面面形标定仿真 | 第27-30页 |
| 3.2 改进平面面形标定仿真 | 第30-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 4 参考面装夹自重微变形分析及面形误差补偿 | 第35-56页 |
| 4.1 参考面装夹自重变形有限元分析 | 第35-45页 |
| 4.1.1 100mm口径参考平面装夹自重变形分析 | 第36-37页 |
| 4.1.2 300mm口径参考平面装夹自重变形分析 | 第37-45页 |
| 4.2 参考平面装夹自重变形数据预处理 | 第45-48页 |
| 4.2.1 100mm口径参考平面变形数据预处理 | 第45-47页 |
| 4.2.2 300mm口径参考平面变形数据预处理 | 第47-48页 |
| 4.3 装夹自重变形与面形标定结果影响关系 | 第48-54页 |
| 4.3.1 100mm口径装夹自重变形对面形标定结果的影响 | 第49-51页 |
| 4.3.2 300mm口径装夹自重变形对面形标定结果的影响 | 第51-54页 |
| 4.4 基于装夹自重微变形的面形误差补偿 | 第54-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 平面干涉参考面标定实验与分析 | 第56-64页 |
| 5.1 参考平面标定实验 | 第56-61页 |
| 5.1.1 实验方案 | 第56页 |
| 5.1.2 实验器件 | 第56-58页 |
| 5.1.3 实验数据及分析 | 第58-61页 |
| 5.2 误差分析 | 第61-63页 |
| 5.2.1 干涉仪系统误差 | 第61-62页 |
| 5.2.2 实验环境误差 | 第62页 |
| 5.2.3 相位提取误差 | 第62页 |
| 5.2.4 仿真与实际变形误差 | 第62页 |
| 5.2.5 定位误差 | 第62-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 结论与展望 | 第64-67页 |
| 6.1 结论 | 第64-65页 |
| 6.2 展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
