平面光学元件表面面形参数测量评价研究
| 摘要 | 第3-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题研究目的及意义 | 第9页 |
| 1.2 表面质量测量仪器的发展现状 | 第9-11页 |
| 1.2.1 激光干涉仪的发展现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 轮廓仪的发展现状 | 第11页 |
| 1.3 表面质量评价参数的发展现状 | 第11-13页 |
| 1.4 本课题的主要研究内容 | 第13页 |
| 1.5 论文章节安排 | 第13-15页 |
| 2 表面质量评价的主要参数 | 第15-25页 |
| 2.1 低频评价参数 | 第15-17页 |
| 2.1.1 峰谷值及优化 | 第15-16页 |
| 2.1.2 均方根值 | 第16-17页 |
| 2.2 中频评价参数 | 第17-21页 |
| 2.2.1 功率谱密度的定义 | 第17页 |
| 2.2.2 功率谱密度的计算 | 第17-19页 |
| 2.2.3 功率谱密度测量结果的评价 | 第19-21页 |
| 2.3 高频评价参数 | 第21-24页 |
| 2.3.1 评定基准线的计算方法 | 第21-23页 |
| 2.3.2 取样长度和评定长度 | 第23页 |
| 2.3.3 表面粗糙度的二维评定参数 | 第23-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 表面面形参数的稳定性评价 | 第25-38页 |
| 3.1 Zernike多项式拟合波面算法 | 第25-27页 |
| 3.1.1 Zernike系数的计算及波面拟合 | 第25-27页 |
| 3.1.2 Zernike多项式项数的选取 | 第27页 |
| 3.2 波面的获取 | 第27-28页 |
| 3.2.1 模拟波面 | 第28页 |
| 3.2.2 实际波面 | 第28页 |
| 3.3 不同波面分析 | 第28-32页 |
| 3.3.1 模拟波面分析 | 第28-29页 |
| 3.3.2 添加毛刺点的波面对比分析 | 第29-31页 |
| 3.3.3 噪声等级变化分析 | 第31-32页 |
| 3.4 不同评价方式的重复性比较 | 第32-33页 |
| 3.5 分析界面设计 | 第33-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 表面面形参数的关联性分析 | 第38-51页 |
| 4.1 Zernike多项式与像差的关系 | 第38-39页 |
| 4.2 理想波面分析 | 第39-48页 |
| 4.2.1 单项像差波面分析 | 第39-44页 |
| 4.2.2 多项像差波面分析 | 第44-48页 |
| 4.3 一般波面分析 | 第48-49页 |
| 4.3.1 多次测量同一样件 | 第48-49页 |
| 4.3.2 多个样件单次测量 | 第49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 5 轮廓仪测量结果的一致性分析 | 第51-75页 |
| 5.1 表面粗糙度测量仪器分析 | 第51-56页 |
| 5.1.1 仪器的测量原理 | 第51-54页 |
| 5.1.2 仪器的误差分析 | 第54-56页 |
| 5.2 表面粗糙度的测量实验及评价结果分析 | 第56-66页 |
| 5.2.1 实验样件的加工 | 第56页 |
| 5.2.2 不同仪器测量结果分析 | 第56-60页 |
| 5.2.3 测量结果的功率谱密度分析 | 第60-62页 |
| 5.2.4 采样点数及测量范围对结果的影响 | 第62-64页 |
| 5.2.5 基准线的选取对评价结果的影响 | 第64-66页 |
| 5.3 测量系统的重复性和再现性分析 | 第66-74页 |
| 5.3.1 测量系统的数学模型 | 第67页 |
| 5.3.2 测量系统的分析方法 | 第67-69页 |
| 5.3.3 轮廓仪系统的重复性和再现性分析 | 第69-74页 |
| 5.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 6 结论与展望 | 第75-77页 |
| 6.1 结论 | 第75-76页 |
| 6.2 课题研究不足及展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-86页 |
| 附录 | 第86-90页 |
