| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 类金刚石薄膜简介 | 第11-13页 |
| 1.2 类金刚石薄膜的应用 | 第13-15页 |
| 1.2.1 机械领域的应用 | 第13页 |
| 1.2.2 电子领域的应用 | 第13-14页 |
| 1.2.3 光学领域的应用 | 第14页 |
| 1.2.4 生物医学领域的应用 | 第14-15页 |
| 1.3 类金刚石薄膜制备方法 | 第15-17页 |
| 1.4 类金刚石薄膜存在的问题及研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4.1 金属碳化物掺杂类金刚石薄膜 | 第18页 |
| 1.4.2 非金属碳化物掺杂类金刚石薄膜 | 第18-19页 |
| 1.5 本论文研究方法及内容 | 第19-20页 |
| 1.5.1 研究方法 | 第19-20页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第20页 |
| 1.6 技术路线 | 第20-21页 |
| 第2章 实验材料和方法 | 第21-28页 |
| 2.1 实验材料 | 第21-22页 |
| 2.1.1 实验基体材料 | 第21页 |
| 2.1.2 实验靶材 | 第21-22页 |
| 2.2 实验设备和薄膜制备工艺 | 第22-23页 |
| 2.2.1 实验设备 | 第22页 |
| 2.2.2 薄膜制备工艺 | 第22-23页 |
| 2.3 放电特性分析 | 第23-24页 |
| 2.3.1 靶材放电电压及电流采集 | 第23页 |
| 2.3.2 等离子体发射光谱 | 第23-24页 |
| 2.4 厚度与应力表征 | 第24-25页 |
| 2.5 成分与结构表征 | 第25-26页 |
| 2.5.1 X射线光电子能谱 | 第25页 |
| 2.5.2 Raman光谱分析 | 第25-26页 |
| 2.5.3 X射线衍射 | 第26页 |
| 2.5.4 透射电子显微镜 | 第26页 |
| 2.6 微观形貌表征 | 第26-27页 |
| 2.6.1 原子力显微镜 | 第26页 |
| 2.6.2 光学显微镜 | 第26-27页 |
| 2.6.3 扫描电子电镜 | 第27页 |
| 2.7 力学性能表征 | 第27-28页 |
| 2.7.1 薄膜硬度分析 | 第27页 |
| 2.7.2 薄膜耐磨性分析 | 第27-28页 |
| 第3章 Ar气流量对DLC薄膜结构与性能的影响 | 第28-34页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 DLC薄膜制备工艺 | 第28-29页 |
| 3.3 DLC薄膜结构与性能表征 | 第29-33页 |
| 3.3.1 薄膜厚度和沉积速率分析 | 第29页 |
| 3.3.2 薄膜应力分析 | 第29-30页 |
| 3.3.3 薄膜Raman结果分析 | 第30-31页 |
| 3.3.4 薄膜表面粗糙度分析 | 第31-32页 |
| 3.3.5 薄膜断面结构分析 | 第32页 |
| 3.3.6 薄膜显微硬度分析 | 第32-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 Ar气流量对Ag-DLC薄膜中Ag含量和薄膜结构与性能的影响 | 第34-42页 |
| 4.1 引言 | 第34页 |
| 4.2 Ag-DLC薄膜制备工艺 | 第34-35页 |
| 4.3 Ag-DLC薄膜结构与性能表征 | 第35-40页 |
| 4.3.1 薄膜厚度和沉积速率分析 | 第35页 |
| 4.3.2 薄膜微观结构分析 | 第35-36页 |
| 4.3.3 薄膜Raman结果分析 | 第36-37页 |
| 4.3.4 薄膜应力分析 | 第37-38页 |
| 4.3.5 薄膜显微硬度分析 | 第38-39页 |
| 4.3.6 薄膜耐磨性分析 | 第39-40页 |
| 4.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 第5章 Ar/C_2H_2比例对DLC薄膜和Ag-DLC薄膜结构与性能的影响 | 第42-62页 |
| 5.1 引言 | 第42页 |
| 5.2 薄膜制备工艺 | 第42-43页 |
| 5.3 靶材放电分析 | 第43-48页 |
| 5.3.1 靶材放电电流 | 第43-44页 |
| 5.3.2 等离子体分析 | 第44-48页 |
| 5.4 薄膜成分和结构表征 | 第48-53页 |
| 5.4.1 XPS结果分析 | 第48-49页 |
| 5.4.2 Raman结果分析 | 第49-51页 |
| 5.4.3 XRD结果分析 | 第51-52页 |
| 5.4.4 Ag-DLC薄膜TEM结果分析 | 第52-53页 |
| 5.5 薄膜性能表征 | 第53-60页 |
| 5.5.1 膜厚和沉积速率 | 第53-54页 |
| 5.5.2 应力分析 | 第54-55页 |
| 5.5.3 显微硬度分析 | 第55-57页 |
| 5.5.4 耐磨性分析 | 第57-60页 |
| 5.6 本章小结 | 第60-62页 |
| 工作展望 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第73页 |