纳米螺线管的制备和氮化镓纳米线的合成、表征及其电学性能研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第7-22页 |
| 1.1 微纳机电系统 | 第7-13页 |
| 1.1.1 微机电系统的定义及基本特点 | 第8-9页 |
| 1.1.2 纳机电系统 | 第9页 |
| 1.1.3 微纳机电系统的分类及应用 | 第9-13页 |
| 1.2 一维纳米材料和纳米器件 | 第13-20页 |
| 1.2.1 纳米科学与纳米技术简介 | 第13-14页 |
| 1.2.2 一维纳米材料 | 第14-15页 |
| 1.2.3 纳米器件 | 第15-20页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 纳米螺线管结构的制备 | 第22-28页 |
| 2.1 螺旋结构的主要制备方法 | 第22-24页 |
| 2.1.1 气-液-固法(VLS) | 第22页 |
| 2.1.2 纳米操控法 | 第22-23页 |
| 2.1.3 静电纺丝法 | 第23-24页 |
| 2.2 电纺法制备纳米螺线管 | 第24-27页 |
| 2.2.1 静电纺丝装置 | 第24-25页 |
| 2.2.2 实验 | 第25-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 GaN纳米线的合成与表征 | 第28-38页 |
| 3.1 GaN材料的性质、主要应用与研究现状 | 第28-30页 |
| 3.1.1 GaN的物理特性 | 第29页 |
| 3.1.2 GaN的化学特性 | 第29页 |
| 3.1.3 GaN的光电性能 | 第29-30页 |
| 3.2 GaN纳米线的合成 | 第30-32页 |
| 3.2.1 实验装置 | 第30-31页 |
| 3.2.2 实验过程 | 第31-32页 |
| 3.3 GaN纳米线的表征 | 第32-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 GaN纳米线场效应晶体管的制备与性能研究 | 第38-45页 |
| 4.1 纳米器件制备的主要流程 | 第39-41页 |
| 4.2 GaN纳米线FET制备的工艺流程 | 第41-42页 |
| 4.3 GaN纳米线FET性能测试 | 第42-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 总结 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 在学期间研究成果 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50页 |
