| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| CONTENTS | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 课题背景 | 第12-13页 |
| 1.2. 国内外关于精密定位平台的研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.1. 压电陶瓷微进给定位台的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.2 直线电机驱动大行程精密定位台的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.3 宏微双重驱动大行程精密定位台研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3 宏微双重驱动精密定位平台的关键技术与问题 | 第18页 |
| 1.4 课题来源与研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 宏微双重驱动高精度定位台系统的设计 | 第20-28页 |
| 2.1 常见宏微双重驱动定位台结构介绍 | 第20-21页 |
| 2.2 大行程高精密定位台系统总体方案设计 | 第21-24页 |
| 2.2.1 驱动源 | 第22页 |
| 2.2.2 传动机构 | 第22-23页 |
| 2.2.3 位置测量与反馈系统 | 第23-24页 |
| 2.3 宏微双重驱动控制原理 | 第24-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动微动定位台的结构设计 | 第28-44页 |
| 3.1 压电陶瓷驱动特性分析 | 第28-30页 |
| 3.1.1 压电陶瓷的电场效应 | 第28-29页 |
| 3.1.2 压电陶瓷驱动器 | 第29-30页 |
| 3.2 微定位平台中柔性铰链的设计 | 第30-38页 |
| 3.2.1 柔性铰链的结构形式 | 第30-31页 |
| 3.2.2 复合型双边双柔性柔性铰链 | 第31-33页 |
| 3.2.3 双边双柔性铰链机构理论解析 | 第33-38页 |
| 3.3 微定位机构的有限元分析 | 第38-43页 |
| 3.3.1 建立机构有限元分析模型 | 第39-40页 |
| 3.3.2 施加载荷和约束 | 第40页 |
| 3.3.3 动静态特性仿真结果分析 | 第40-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 U型无铁心永磁直线电机的设计与研究 | 第44-67页 |
| 4.1 概述 | 第44-45页 |
| 4.2 U型无铁心永磁直线电机拓扑结构与特点 | 第45页 |
| 4.3 U型无铁心永磁直线电机设计的解析分析 | 第45-57页 |
| 4.3.1 空载气隙中心磁密 | 第46-50页 |
| 4.3.2 绕组结构解析 | 第50-52页 |
| 4.3.3 推力解析分析 | 第52-55页 |
| 4.3.4 反电动势解析 | 第55-57页 |
| 4.4 Ansoft有限元分析 | 第57-66页 |
| 4.4.1 有限元分析模型的建立 | 第58-59页 |
| 4.4.2 永磁体对数对电机磁场的影响 | 第59-61页 |
| 4.4.3 绕组线圈尺寸对推力波动的影响 | 第61-63页 |
| 4.4.4 瞬态磁场仿真结果 | 第63-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 实验样机的研制与实验研究 | 第67-75页 |
| 5.1 永磁直线电机的研制 | 第67-69页 |
| 5.2 永磁直线电机绕组测试试验 | 第69页 |
| 5.3 永磁直线电机的反电动势实验 | 第69-71页 |
| 5.4 电磁推力试验 | 第71-72页 |
| 5.5 动态性能试验 | 第72-73页 |
| 5.6 单向重复定位精度实验 | 第73-74页 |
| 5.7 本章小结 | 第74-75页 |
| 结论与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83页 |