| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第16-18页 |
| 1.1.1 引言 | 第16页 |
| 1.1.2 激光干涉测量概述 | 第16-17页 |
| 1.1.3 动态补偿非线性误差的提出 | 第17-18页 |
| 1.2 国内外研究的现状 | 第18-19页 |
| 1.2.1 概述 | 第18页 |
| 1.2.2 折射率补偿 | 第18-19页 |
| 1.2.3 非线性误差补偿 | 第19页 |
| 1.3 课题研究的目的、意义、内容及来源 | 第19-21页 |
| 1.3.1 课题研究的目的及意义 | 第19-20页 |
| 1.3.2 课题研究的内容 | 第20页 |
| 1.3.3 课题的来源 | 第20-21页 |
| 第二章 单频激光干涉测量系统误差分析概述 | 第21-24页 |
| 2.1 系统误差的研究分析 | 第21页 |
| 2.2 单频激光测量系统误差的分类 | 第21-23页 |
| 2.2.1 干涉测量系统的系统误差 | 第21-22页 |
| 2.2.2 环境条件变化引入的误差 | 第22页 |
| 2.2.3 系统的安装调试误差 | 第22-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 激光干涉测量系统的搭建 | 第24-37页 |
| 3.1 激光干涉测量法国内外研究 | 第24-26页 |
| 3.1.1 外差激光干涉法 | 第24-25页 |
| 3.1.2 零差激光干涉法 | 第25-26页 |
| 3.2 迈克尔逊干涉测量原理 | 第26-27页 |
| 3.3 激光自准直测角原理 | 第27-29页 |
| 3.4 长度、角度同时测量方案 | 第29-31页 |
| 3.4.1 光路系统的计算分析 | 第30-31页 |
| 3.4.2 光源设计 | 第31页 |
| 3.5 机械系统的设计 | 第31-35页 |
| 3.5.1 激光器的选型及光纤光源耦合装置的机械固定 | 第31-32页 |
| 3.5.2 测量系统中光学元件的选型和固定 | 第32-34页 |
| 3.5.3 二维调节机构的设计 | 第34-35页 |
| 3.6 电路系统的设计 | 第35-36页 |
| 3.6.1 前置放大部分 | 第35-36页 |
| 3.6.2 后级放大与调理部分 | 第36页 |
| 3.7 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 测量系统软件设计 | 第37-48页 |
| 4.1 LABVIEW简介 | 第37-38页 |
| 4.2 采集卡AD采样参数 | 第38页 |
| 4.3 长度测量的算法 | 第38页 |
| 4.4 软件计数和细分算法 | 第38-45页 |
| 4.4.1 大数计数和辩向 | 第39页 |
| 4.4.2 基于阈值法的软件计数 | 第39-40页 |
| 4.4.3 软件细分和小数计数 | 第40-45页 |
| 4.5 角度测量算法 | 第45-46页 |
| 4.6 测量软件的特点 | 第46-47页 |
| 4.7 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 干涉系统误差的补偿 | 第48-57页 |
| 5.1 干涉系统中环境误差和非线性误差概述 | 第48-49页 |
| 5.2 环境误差的补偿 | 第49-51页 |
| 5.2.1 波长修正概述 | 第49页 |
| 5.2.2 环境-波长的经典公式 | 第49-50页 |
| 5.2.3 改进后的折射率计算公式 | 第50-51页 |
| 5.3 非线性误差的补偿 | 第51-55页 |
| 5.3.1 非线性误差概述 | 第51-52页 |
| 5.3.2 非线性误差的被动补偿 | 第52页 |
| 5.3.3 非线性误差的动态软件补偿法 | 第52-55页 |
| 5.4 其它改善系统精度的方案 | 第55页 |
| 5.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第六章 软件系统验证 | 第57-60页 |
| 6.1 一维系统的长度漂移 | 第57-58页 |
| 6.2 长度比对试验 | 第58-59页 |
| 6.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 第七章 结论与展望 | 第60-62页 |
| 7.1 研究总结 | 第60页 |
| 7.2 待研究的工作及工作展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及研究成果 | 第64页 |