| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| 1.1 课题研究背景及研究意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第15-21页 |
| 1.2.1 气体润滑技术研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2.2 气浮平台技术研究现状 | 第16-19页 |
| 1.2.3 三维精密测量技术研究现状 | 第19-21页 |
| 1.3 本课题来源与研究内容 | 第21-23页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第21页 |
| 1.3.2 本课题主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 精密静压气浮导轨的静力学特性研究 | 第23-39页 |
| 2.1 气浮导轨气膜刚度理论分析及实验研究 | 第23-33页 |
| 2.1.1 小孔节流与气膜刚度理论分析 | 第23-25页 |
| 2.1.2 气膜面结构参数对气膜刚度的影响 | 第25-29页 |
| 2.1.3 气膜刚度实验测试及结果分析 | 第29-33页 |
| 2.2 气浮导轨直线度实验研究 | 第33-37页 |
| 2.2.1 实验原理与实验对象 | 第33-35页 |
| 2.2.2 不同供气压力下气浮导轨直线度误差测量结果及分析 | 第35-37页 |
| 2.3 本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 二维龙门式气浮平台动态特性及运动精度研究 | 第39-57页 |
| 3.1 二维龙门式气浮平台简介 | 第39-40页 |
| 3.2 二维龙门式气浮平台动态特性仿真分析 | 第40-45页 |
| 3.2.1 模态分析基本理论 | 第40-41页 |
| 3.2.2 二维龙门式气浮平台的有限元模态仿真分析 | 第41-45页 |
| 3.3 二维龙门式气浮平台动态特性实验研究 | 第45-50页 |
| 3.3.1 固有频率实验测试原理及方案 | 第45-48页 |
| 3.3.2 测试结果及分析 | 第48-50页 |
| 3.4 气浮平台运动精度研究 | 第50-55页 |
| 3.4.1 实验原理与实验装置介绍 | 第50-51页 |
| 3.4.2 不同供气压力下定位精度测试及结果分析 | 第51-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 三维精密测量气浮平台总体结构设计与伺服进给系统研究 | 第57-80页 |
| 4.1 三维精密测量平台的测量对象及设计要求 | 第57-58页 |
| 4.1.1 三维精密测量气浮平台的测量对象 | 第57页 |
| 4.1.2 三维精密测量气浮平台的设计要求 | 第57-58页 |
| 4.2 三维精密气浮平台设计技术参数的确定 | 第58-59页 |
| 4.3 三维精密气浮平台的总体设计 | 第59-75页 |
| 4.3.1 龙门结构的选用及各轴导轨形式的确定 | 第59-61页 |
| 4.3.2 各轴伺服进给方式的拟定及总体结构的确定 | 第61-67页 |
| 4.3.3 X、Y轴伺服进给系统介绍与选型计算 | 第67-71页 |
| 4.3.4 Z轴伺服进给系统的选型计算 | 第71-75页 |
| 4.4 气浮导轨进给速度研究 | 第75-79页 |
| 4.4.1 气体润滑基本理论 | 第75-76页 |
| 4.4.2 气浮工作台的运动速度范围研究 | 第76-79页 |
| 4.5 本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 三维精密测量气浮平台静动态特性分析 | 第80-92页 |
| 5.1 静态力学特性分析 | 第80-86页 |
| 5.1.1 龙门式结构横梁挠度的理论计算 | 第80-82页 |
| 5.1.2 三维气浮平台的有限元静力分析 | 第82-86页 |
| 5.2 三维精密测量气浮平台的动态特性分析 | 第86-91页 |
| 5.2.1 三维精密测量气浮平台模态分析 | 第86-88页 |
| 5.2.2 三维精密测量气浮平台的谐响应分析 | 第88-91页 |
| 5.3 本章小结 | 第91-92页 |
| 总结与展望 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-98页 |
| 作者攻读硕士学位期间发表的论文 | 第98-100页 |
| 致谢 | 第100页 |
