J-R型氮化铝陶瓷静电吸盘的设计与制造
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1. 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 硅片夹持方法介绍 | 第10-11页 |
| 1.3 国内外静电吸盘技术 | 第11-15页 |
| 1.4 本课题研究方向及意义 | 第15-17页 |
| 2. 静电吸盘的原理研究 | 第17-28页 |
| 2.1 静电吸附原理 | 第17-18页 |
| 2.2 静电吸盘工作原理 | 第18-19页 |
| 2.3 J-R效应原理 | 第19-25页 |
| 2.4 静电吸盘理论结构 | 第25页 |
| 2.5 静电吸盘设计方向 | 第25-26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-28页 |
| 3. 氮化铝陶瓷静电吸盘的设计 | 第28-35页 |
| 3.1 氮化铝陶瓷静电吸盘结构设计 | 第28-29页 |
| 3.2 氮化铝陶瓷静电吸盘的制作方案设计 | 第29-31页 |
| 3.3 氮化铝陶瓷静电吸盘制造材料选择 | 第31-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 4. 氮化铝陶瓷静电吸盘制作 | 第35-54页 |
| 4.1 氮化铝陶瓷静电吸盘制造工艺 | 第35-42页 |
| 4.2 J-R层调阻剂的选择 | 第42-48页 |
| 4.3 J-R层试样组织分析 | 第48-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 5. 静电吸盘的测试 | 第54-63页 |
| 5.1 J-R层试样电阻率测试 | 第54-56页 |
| 5.2 静电吸盘吸附力测试平台 | 第56-60页 |
| 5.3 静电吸盘吸附力测试 | 第60-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 6. 总结与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 总结 | 第63-64页 |
| 6.2 创新之处 | 第64页 |
| 6.3 展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
