| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-28页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 硅衬底GaN基LED外延薄膜的简介 | 第9-11页 |
| 1.3 二次离子质谱(SIMS)的简介 | 第11-19页 |
| 1.3.1 SIMS的国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3.2 SIMS的工作原理 | 第13-14页 |
| 1.3.3 CAMECA IMS-7f型SIMS的主要结构 | 第14-19页 |
| 1.4 SIMS定量分析重复性研究现状及标准样品的概述 | 第19-22页 |
| 1.4.1 SIMS定量分析重复性研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4.2 标准样品的概述 | 第21-22页 |
| 1.5 SIMS测试参数介绍 | 第22-24页 |
| 1.6 SIMS定量分析准确度和精确度 | 第24-26页 |
| 1.6.1 准确度 | 第25页 |
| 1.6.2 精确度 | 第25-26页 |
| 1.7 本论文的研究内容及其行文安排 | 第26-28页 |
| 第2章 SIMS定量分析方法 | 第28-43页 |
| 2.1 引言 | 第28-29页 |
| 2.2 SIMS基本关系式 | 第29页 |
| 2.3 基体效应 | 第29-30页 |
| 2.4 SIMS定量分析方法 | 第30-36页 |
| 2.4.1 深度标定 | 第31-35页 |
| 2.4.2 浓度标定 | 第35-36页 |
| 2.5 相对灵敏度因子(RSF) | 第36-37页 |
| 2.6 SIMS中背底信号分析 | 第37-41页 |
| 2.7 本章小结 | 第41-43页 |
| 第3章 SIMS定量分析数据的统计分析 | 第43-53页 |
| 3.1 引言 | 第43页 |
| 3.2 样品、仪器与测试条件 | 第43-44页 |
| 3.2.1 样品与仪器 | 第43-44页 |
| 3.2.2 测试条件 | 第44页 |
| 3.3 标准样品中常用元素的测试参数统计分析 | 第44-49页 |
| 3.4 统计结果分析 | 第49-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 测试参数设置对测试结果的影响 | 第53-59页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 主要测试参数 | 第53-55页 |
| 4.3 特殊值分析 | 第55-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 结论 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |