| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1. 绪论 | 第11-28页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-13页 |
| 1.2 谐振式微光学陀螺 | 第13-21页 |
| 1.3 光波导谐振腔 | 第21-25页 |
| 1.4 论文选题依据和主要内容 | 第25-28页 |
| 2. 光波导谐振腔特征参量与角速度传感原理 | 第28-48页 |
| 2.1 光波导谐振腔 | 第28-39页 |
| 2.1.1 光波导谐振腔的光学传输特性 | 第28-32页 |
| 2.1.2 光波导谐振腔的特征参量 | 第32-38页 |
| 2.1.3 光波导谐振腔的耦合状态 | 第38-39页 |
| 2.2 谐振式微光学陀螺检测原理 | 第39-46页 |
| 2.2.1 萨格纳克效应 | 第39-42页 |
| 2.2.2 谐振式微光学陀螺工作原理 | 第42-46页 |
| 2.3 本章小结 | 第46-48页 |
| 3. 硅基二氧化硅光波导谐振腔的仿真、设计与制备技术研究 | 第48-71页 |
| 3.1 光波导理论基础 | 第48-57页 |
| 3.1.1 平板光波导 | 第48-52页 |
| 3.1.2 条形光波导 | 第52-56页 |
| 3.1.3 光束传播法 | 第56-57页 |
| 3.2 硅基二氧化硅光波导谐振腔的仿真与设计 | 第57-65页 |
| 3.2.1 硅基二氧化硅光波导参数计算 | 第58-61页 |
| 3.2.2 硅基二氧化硅光波导谐振腔整体结构设计 | 第61-65页 |
| 3.3 硅基二氧化硅光波导的加工与封装 | 第65-69页 |
| 3.3.1 硅基二氧化硅光波导的加工工艺 | 第66-68页 |
| 3.3.2 硅基二氧化硅光波导的耦合封装 | 第68-69页 |
| 3.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 4. 面向角速度传感应用的硅基二氧化硅光波导谐振腔结构参数优化 | 第71-89页 |
| 4.1 谐振式光学陀螺灵敏度分析 | 第71-72页 |
| 4.2 光波导谐振腔耦合状态优化 | 第72-82页 |
| 4.2.1 光波导谐振腔耦合状态分析 | 第72-76页 |
| 4.2.2 光波导谐振腔测试系统构建 | 第76-78页 |
| 4.2.3 不同耦合状态的氧化硅光波导谐振腔测试结果与分析 | 第78-82页 |
| 4.3 双圈交叉式光波导谐振腔设计 | 第82-88页 |
| 4.3.1 腔长与半高全宽的关系分析 | 第82-85页 |
| 4.3.2 腔长与半高全宽关系验证实验 | 第85-87页 |
| 4.3.3 双圈光波导谐振腔结构设计、测试结果 | 第87-88页 |
| 4.4 本章小结 | 第88-89页 |
| 5. 硅基二氧化硅光波导谐振腔在陀螺系统中的表现 | 第89-105页 |
| 5.1 谐振式光学陀螺的测试系统构建 | 第89-92页 |
| 5.2 谐振式光学陀螺中的噪声抑制 | 第92-98页 |
| 5.3 光波导谐振腔转动测试结果 | 第98-101页 |
| 5.4 零偏稳定性测试结果 | 第101-103页 |
| 5.5 本章小结 | 第103-105页 |
| 6. 总结与展望 | 第105-108页 |
| 6.1 论文研究工作总结 | 第105-106页 |
| 6.2 论文创新点 | 第106-107页 |
| 6.3 工作展望 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-118页 |
| 攻读博士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第118-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
