4G-LTE TDD基站用低损耗大带宽3.7GHz声表面波滤波器研制
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-11页 |
| 1.2 国内外SAW器件的发展与现状 | 第11-19页 |
| 1.2.1 SAW的发展 | 第11-16页 |
| 1.2.2 国外SAW的现状 | 第16-18页 |
| 1.2.3 国内SAW的现状 | 第18-19页 |
| 1.3 研究意义 | 第19页 |
| 1.4 论文的组织结构 | 第19-21页 |
| 第二章 SAW滤波器 | 第21-43页 |
| 2.1 SAW滤波器简介 | 第21-23页 |
| 2.2 压电材料 | 第23-24页 |
| 2.3 SAW特性 | 第24-35页 |
| 2.3.1 固体中的声波 | 第24-26页 |
| 2.3.2 叉指换能器DT | 第26-28页 |
| 2.3.3 反射栅 | 第28-29页 |
| 2.3.4 P矩阵 | 第29-35页 |
| 2.4 低损耗SAW滤波器设计和举例 | 第35-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 需求分析和方案设计 | 第43-47页 |
| 3.1 SAW需求分析 | 第43-45页 |
| 3.1.1 功能性需求分析 | 第43-44页 |
| 3.1.2 非功能性需求分析 | 第44-45页 |
| 3.2 SAW总体设计 | 第45-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 滤波器整体方案 | 第47-65页 |
| 4.1 COM方程及COM参数 | 第47-49页 |
| 4.2 滤波器参数设计 | 第49-60页 |
| 4.2.1 压电材料YX-41~oLiNbO_3 | 第50-53页 |
| 4.2.2 滤波器方案 | 第53-58页 |
| 4.2.3 SAW谐振器优化技术 | 第58-60页 |
| 4.3 剥离工艺(lift-off) | 第60-63页 |
| 4.3.1 剥离工艺 | 第60-62页 |
| 4.3.2 3.7GHz SAW滤波器工艺流程 | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 性能测试和器件可靠性验证 | 第65-74页 |
| 5.1 性能测试 | 第65-68页 |
| 5.1.1 器件常温性能测试 | 第65-67页 |
| 5.1.2 器件高低温性能测试 | 第67-68页 |
| 5.2 可靠性设计和验证 | 第68-73页 |
| 5.2.1 可靠性试验 | 第68-70页 |
| 5.2.2 可靠性预计 | 第70-71页 |
| 5.2.3 功率寿命预测 | 第71-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 总结 | 第74页 |
| 6.2 展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
