| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第9-14页 |
| 1.2.1 AFM 探针磨损的研究现状 | 第9-12页 |
| 1.2.2 DIC 方法微纳米领域应用的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 AFM/DIC 方法研究探针磨损的理论研究 | 第16-29页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 AFM/DIC 方法研究探针磨损的基本原理 | 第16-20页 |
| 2.2.1 原子力显微镜(AFM)基本原理 | 第16-18页 |
| 2.2.2 数字图像相关法(DIC)基本原理 | 第18-20页 |
| 2.2.3 AFM 与 DIC 结合研究探针磨损 | 第20页 |
| 2.3 针尖曲率半径对 AFM 图像影响的仿真分析 | 第20-28页 |
| 2.3.1 探针曲率半径对 AFM 图像影响的分析 | 第21-22页 |
| 2.3.2 Matlab 建模仿真针尖曲率半径对 AFM 图像影响 | 第22-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 AFM/DIC 方法研究探针磨损的实验研究 | 第29-40页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 实验设备和软件 | 第29-30页 |
| 3.3 原位连续扫描实验 | 第30-32页 |
| 3.3.1 实验规划和扫描结果 | 第30-31页 |
| 3.3.2 扫描弯曲现象及压平处理 | 第31-32页 |
| 3.4 DIC 分析实验结果及磨损参数选择 | 第32-37页 |
| 3.4.1 相邻扫描的两张图像做 DIC 分析 | 第33-34页 |
| 3.4.2 各张图像与第二张图像 DIC 分析 | 第34-36页 |
| 3.4.3 磨损指标选择 | 第36-37页 |
| 3.5 评价针尖的其他方法 | 第37-38页 |
| 3.5.1 盲重建方法(BR)得到针尖三维形貌 | 第37-38页 |
| 3.5.3 扫描电子显微镜(SEM)观察探针形貌 | 第38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 轻敲模式下各参数对单晶硅探针磨损的影响 | 第40-50页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 总体实验规划 | 第40-41页 |
| 4.3 自由振幅、振幅设定点对探针磨损速率的影响 | 第41-44页 |
| 4.4 针尖半径对探针磨损速率的影响 | 第44-46页 |
| 4.5 扫描速度对探针磨损速率的影响 | 第46-49页 |
| 4.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
