高频响高分辨力位移传感器校准平台关键技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究的背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第10-17页 |
| 1.2.1 国内外位移传感器校准技术研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.2 国内外研究现状总结 | 第16-17页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 高精度动态校准平台的总体设计 | 第19-31页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 校准平台总体结构设计 | 第19-20页 |
| 2.3 单频激光干涉仪子系统设计 | 第20-23页 |
| 2.3.1 单频激光干涉仪测量原理 | 第20-22页 |
| 2.3.2 干涉仪测量光机结构设计 | 第22-23页 |
| 2.4 电容传感器测量子系统设计 | 第23-27页 |
| 2.4.1 电容传感器测量原理 | 第23-25页 |
| 2.4.2 电容传感器选型 | 第25-27页 |
| 2.4.3 电容传感器安装结构设计 | 第27页 |
| 2.5 压电陶瓷微驱动单元 | 第27-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 校准台微驱动机构的设计与优化 | 第31-47页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 柔性铰链机构的设计 | 第31-35页 |
| 3.2.1 铰链结构设计 | 第31-33页 |
| 3.2.2 铰链预紧单元设计 | 第33-35页 |
| 3.3 柔性铰链机构理论模型 | 第35-41页 |
| 3.3.1 铰链机构的静态特性 | 第35-37页 |
| 3.3.2 铰链机构的输入输出刚度 | 第37-39页 |
| 3.3.3 铰链机构的动态特性 | 第39-41页 |
| 3.4 理论模型验证 | 第41-43页 |
| 3.5 结构参数对铰链性能的影响分析 | 第43-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 校准平台实验测试 | 第47-58页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 实验装置搭建 | 第47-49页 |
| 4.3 铰链运动平台的位移分辨力实验 | 第49-51页 |
| 4.4 铰链位移特性实验 | 第51-54页 |
| 4.5 铰链运动平台的动态特性实验 | 第54-57页 |
| 4.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
